[发明专利]曝光装置

说明书

本发明提供一种曝光装置，其使用多个短尺寸灯作为光源，并能够以简单的结构进行照度不均较低的曝光。提供一种可轻松更换灯的曝光装置。曝光装置(100)具有：搬送部(2)，向搬送方向搬送被曝光体(11)；及光照射部(3)，在水平面内以规定间隔排列配置有具备长边方向的长度比被曝光体(11)短的棒状光源(32)及配置于光源(32)与被曝光体(11)之间的偏光器(34)的多个光照射单元(31)，光照射单元(31)配置成光源(32)及偏光器(34)相对于被曝光体(11)平行，且各偏光器(34)的偏振轴的方向相对于搬送方向设定为规定方向，各光源(32)配置成光源(32)的长边方向相对于搬送方向平行或成为倾斜方向。曝光装置(100)具有摆动机构(56b)，所述摆动机构使被曝光体(11)或光照射部(3)向相对于搬送方向交叉的方向摆动。

技术领域

本发明涉及一种通过偏振光对被曝光体进行曝光的曝光装置。

背景技术

已知有如下偏光曝光装置，其在液晶面板用取向膜、相位差膜等光学薄膜、用于触控面板的画面的防反射膜薄膜等的生产中，进行使用线偏振光或椭圆偏振光(包含圆偏光)的曝光。

并且已知有如下偏振光照射装置，其通过偏光元件对从比照射对象的基板(工件)等的宽度更长的棒状光源射出的光进行偏振，并将该偏振光照射于照射对象(例如，参考专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开2006-133498号公报

发明的内容

发明要解决的技术课题

然而，比照射对象的基板的宽度更长的棒状光源，例如长弧水银灯等长尺寸灯，由于自身重量，灯管的中央部挠曲，有时会产生照度不均。因此，在使用长尺寸灯的通常的曝光装置中，需要支承该灯管的中央部的结构。

并且，若长时间使用灯，则设置于玻璃管内的两端部附近的电极附近发黑，有效照射部分有时会变小。因此，通常的曝光装置中，为了在长时间使用时也确保曝光所需的照射区域，预先使用较长的灯。

并且，更换容纳于灯罩内的长尺寸灯时，需要比较宽的更换用空间。

并且，使用长尺寸灯作为曝光装置的光源时，由于长尺寸灯比较昂贵，因此更换灯需要较高费用。

本发明将解决这种问题作为课题的一例。即，本发明的目的在于：提供一种曝光装置，其使用多个短尺寸灯作为光源，并能够以简单的结构进行照度不均较低的曝光；及提供一种可轻松更换灯的曝光装置等。

用于解决技术课题的手段

为了实现这种目的，本发明的曝光装置至少具备如下结构。

一种对被曝光体照射偏振光的曝光装置，其具有：搬送部，向搬送方向搬送被曝光体；及光照射部，在水平面内以规定间隔排列配置有具备长边方向的长度比所述被曝光体短的棒状光源及配置于所述光源与所述被曝光体之间的偏光器的多个光照射单元，所述光照射单元中，所述光源及所述偏光器相对于所述被曝光体的被曝光面平行配置，且各偏光器的偏振轴的方向相对于所述搬送方向设定为规定方向，所述光照射单元的各光源配置成该光源的长边方向相对于所述搬送方向平行，或者，配置成该光源的长边方向相对于所述搬送方向成为倾斜方向。

发明效果

根据具有这种结构的本发明，使用多个短尺寸灯作为曝光装置的光源，并能够以简单的结构进行照度不均较低的曝光。并且，根据本发明，可轻松更换作为光源的短尺寸灯。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式所涉及的曝光装置的一例的图，图1(a)是曝光装置的俯视图，图1(b)是曝光装置的侧视图。