[发明专利]曝光装置

权利要求书

1.一种对被曝光体照射偏振光的曝光装置，其特征在于，

所述曝光装置具有：

搬送部，向搬送方向搬送被曝光体；及

光照射部，在水平面内以规定间隔排列配置有具备向所述被曝光体射出光且长边方向的长度比所述被曝光体短的棒状光源、按每个所述光源设置并将来自所述光源的光反射向所述被曝光体的反射器、及配置于所述光源与所述被曝光体之间的偏光器的多个光照射单元，

所述光照射单元中，所述光源及所述偏光器相对于所述被曝光体的被曝光面平行配置，且各偏光器的偏振轴的方向相对于所述搬送方向设定为规定方向，

所述光照射单元的各光源配置成该光源的长边方向相对于所述搬送方向平行或成为倾斜方向，

所述光照射部中，在与搬送方向正交的方向上以规定间隔配置的多个所述光照射单元沿着所述搬送方向配置成多段，

在所述光照射单元的各光源配置成该光源的长边方向相对于所述搬送方向平行的情况下，各段的所述光照射单元的光源设置成相对于搬送方向不会相互叠加，

在所述光照射单元的各光源配置成该光源的长边方向相对于所述搬送方向成为倾斜方向的情况下，各段的所述光照射单元的光源设置成相对于相邻段的最近的所述光照射单元的光源，沿着所述搬送方向叠加一部分，

所述光照射单元的反射器的与所述搬送方向交叉的截面形状沿所述搬送方向呈固定。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

所述搬送部具有：

移动机构，使所述被曝光体相对于所述光照射部向水平方向移动自如；

检测部，检测从所述光照射部的各光照射单元射出的光的强度；及

控制部，根据通过所述检测部检测出的光的强度，通过所述移动机构，相对于所述光照射部移动控制所述被曝光体，以便降低从所述多个光照射单元照射于所述被曝光体的光的照度不均。

3.一种对被曝光体照射偏振光的曝光装置，其特征在于，

所述曝光装置具有：

搬送部，向搬送方向搬送被曝光体；及

光照射部，在水平面内以规定间隔排列配置有具备向所述被曝光体射出光且长边方向的长度比所述被曝光体短的棒状光源、按每个所述光源设置并将来自所述光源的光反射向所述被曝光体的反射器、及配置于所述光源与所述被曝光体之间的偏光器的多个光照射单元，

所述光照射单元中，所述光源及所述偏光器相对于所述被曝光体的被曝光面平行配置，且各偏光器的偏振轴的方向相对于所述搬送方向设定为规定方向，

所述光照射单元的各光源配置成该光源的长边方向相对于所述搬送方向平行或成为倾斜方向，

所述光照射部中，在与搬送方向正交的方向上以规定间隔配置的多个所述光照射单元沿着所述搬送方向配置成多段，

在所述光照射单元的各光源配置成该光源的长边方向相对于所述搬送方向平行的情况下，各段的所述光照射单元的光源设置成相对于搬送方向不会相互叠加，

在所述光照射单元的各光源配置成该光源的长边方向相对于所述搬送方向成为倾斜方向的情况下，各段的所述光照射单元的光源设置成相对于相邻段的最近的所述光照射单元的光源，沿着所述搬送方向叠加一部分，

所述光照射单元的反射器的与所述搬送方向交叉的截面形状沿所述搬送方向呈固定，

具有摆动机构，使通过所述搬送部搬送的所述被曝光体或所述光照射部向相对于所述搬送方向交叉的方向摆动。

4.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，

所述搬送部具有：

移动机构，使所述被曝光体相对于所述光照射部向水平方向移动自如；

检测部，检测从所述光照射部的各光照射单元射出的光的强度；及

控制部，根据通过所述检测部检测出的光的强度，通过所述移动机构，相对于所述光照射部移动控制所述被曝光体，以便降低从所述多个光照射单元向所述被曝光体照射的光的照度不均。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的曝光装置，其特征在于，

所述光源的长边方向的长度与所述偏光器的长度大致相同，

所述光源与所述偏光器之间的距离设定为与所述光源的长边方向的长度大致相同。