[发明专利]测试单元控制器的决策和执行树的创建和调度

说明书

技术领域

本公开一般来说涉及自动测试设备领域，更具体地涉及自动测试设备的统计过程控制领域。

背景技术

自动测试设备(ATE)可以是对器件、半导体晶片或裸片等进行测试的任何测试组件。ATE组件可以用于执行自动测试，这些测试能快速执行测量并生成随后可进行分析的结果。ATE组件可以是从耦接到仪表的计算机系统到复杂自动测试组件的任何设备，它可以包括自定义专用计算机控制系统以及许多不同的能够自动测试电子零件和/或进行半导体晶片测试(例如片上系统(SOC)测试或集成电路测试)的测试仪器。

然后可以分析从ATE组件提供的测试结果，以对测试的电子部件进行评估。这种测试结果评估可以作为统计过程控制方法的一部分。在一个示例性实施例中，可以采用统计过程控制方法来监测并控制制造过程，以确保该制造过程以希望的效率水平和希望的质量水平生产希望的产品。在一个示例性实施例中，在完成规定的ATE测试运行之后，采用统计过程控制方法来统计分析所编译的测试结果。也可以在后续生产运行中基于测试结果的统计分析来实现生产过程和/或测试过程的变化。

发明内容

本发明的实施例提供了一种方案以应对自动测试中实施统计过程控制方法时面临的挑战。具体而言，通过提供机会以在对不正确测试的晶片或存在内在问题的晶片花费很多测试时间之前就校正过程，本发明的实施例可以用于不考虑通过/失败结果而做出执行决策。在本发明的一个示例性实施例中，公开了一种实时统计分析测试结果的方法。在所述方法中，在已采集预定数量的所请求的测试结果后，可以响应于任何所识别的测试错误或缺陷晶片执行选定动作，来执行已采集测试结果的统计分析。如此处所述，评价过程和动作也可以应用于晶片分类和最终测试统计以及晶片测试。

在根据本发明的一个示例性方法中，公开了一种测试器件的方法。该方法包括确定计算窗。计算窗是器件测试活动低于活动阈值的时间段。所述至少一个计算窗出现在器件测试活动期间。该方法进一步包括在计算窗期间创建并执行决策树。决策树包括测试结果的被安排的测试分析以及被安排为响应于测试分析而执行的测试控制动作的选择。

在根据本发明的一个示例性实施例中，公开了一种用于测试器件的装置。所述装置包括测试控制模块和测试分析模块。所述测试控制模块可操作以对被测器件执行测试活动。所述测试活动产生测试结果。所述测试分析模块进一步可操作以创建并执行决策树。所述决策树包括测试结果的被安排的测试分析以及响应于测试分析而要执行的测试控制动作的选择。所述测试分析模块在计算窗期间创建并执行所述决策树。计算窗是器件测试活动低于活动阈值的时间段。所述至少一个计算窗出现在器件测试活动期间。

附图说明

结合附图，并阅读以下详细说明，将可以更好地理解本发明，在附图中，相同的参考符号指代相同的元件，其中：

图1示出了一种实现统计过程控制的自动测试设备(ATE)的示例性简化框图；

图2示出了一种用于选择、编辑并创建统计过程控制规则的示例性图形用户界面；

图3示出了一种用于显示控制规则测试结果的示例性图形用户界面；

图4示出了根据本发明一个实施例的用于实时管理统计过程控制的统计分析与控制装置的示例性框图；

图5示出了根据本发明一个实施例的统计分析与控制装置的示例性可自定义状态机部件；

图6示出了根据本发明一个实施例的统计分析与控制装置的示例性批次配方控制部件；

图7示出了根据本发明一个实施例的统计分析与控制装置的示例性统计过程控制部件；

图8示出了根据本发明一个实施例的统计分析与控制装置的示例性箱子控制部件；

图9示出了根据本发明一个实施例的统计分析与控制装置的示例性测量值监测部件；

图10示出了根据本发明的一个实施例要加入到统计分析与控制装置中的示例性自定义部件；

图11示出了根据本发明一个实施例的统计分析与控制装置的示例性过程参数控制部件；

图12示出了示例性流程图，示出了根据本发明一个实施例的用于实时过程控制分析和动作的方法的步骤；

图13示出了示例性流程图，示出了根据本发明一个实施例的用于在测试休止时段期间创建并执行决策树的方法的步骤；

图14示出了示例性流程图，示出了根据本发明一个实施例的用于在测试休止时段期间创建并执行决策树的方法的步骤；