[发明专利]用于投射光刻的照明光学单元

权利要求书

1.用于投射光刻的照明光学单元(4；32；37；39)，用于利用照明光(14)照明物场(5)，在所述物场中能够布置要成像的物(7)，

-包括集光器(5)，用于聚集光源(3)对所述照明光(14)的发射，

-其中，所述集光器(15)布置成其将来自所述光源(3)的所述照明光(14)传输到中间焦点(16)；

-包括场分面反射镜(20)，所述场分面反射镜具有多个场分面(22)；

-包括瞳分面反射镜(21)，所述瞳分面反射镜具有多个瞳分面(23)，

-其中，所述场分面(22)通过转移光学单元(21；38)成像到所述物场(5)中；

-包括单独反射镜阵列(17)，所述单独反射镜阵列具有能够以独立驱动的方式倾斜的单独反射镜(18)，所述阵列在照明光路(26)中布置在所述场分面反射镜(20)的上游，

-其中，所述单独反射镜阵列(17)在所述照明光路(26)中布置在所述中间焦点(16)的下游，

-具有一构造使得所述中间焦点(16)经由照明通道(24)成像到所述瞳分面反射镜(21)所在的空间区域(25)中，所述照明通道各自由所述单独反射镜(18)中的至少一个和所述场分面(22)中的至少一个形成并引导所述照明光(14)的部分束。

2.如权利要求1所述的照明光学单元，其特征在于，所述中间焦点(16)和所述单独反射镜阵列(17)之间的照明光路(26)中的光程(A)比所述单独反射镜阵列(17)和所述场分面反射镜(20)之间的照明光路(26)中的光程(B)长。

3.如权利要求1或2所述的照明光学单元，其特征在于，所述场分面(22)和所述瞳分面(23)的布置使得各自由所述场分面(22)中的正好一个和所述瞳分面(23)中的正好一个形成的照明通道(24)分别固定地分配到所述场分面(22)和所述瞳分面(23)所属的分面对(22,23)，其中，所述分面(22,23)被对准以用于引导所述照明光(14)的部分束。

4.如权利要求1至3任一项所述的照明光学单元，其特征在于，场分面对(22_i,22_j)的场分面(22_i,22_j)被分配到瞳分面对(23_i,23_j)，所述瞳分面对的瞳分面(23_i,23_j)相对于所述瞳分面反射镜(21)的中心(Z₂₁)点对称地布置。

5.如权利要求1至4任一项所述的照明光学单元，其特征在于布置成使得经由所述单独反射镜(18)在场分面部分(22a至22d)中用所述照明光(14)照明所述场分面(22)中的至少一些。

6.如权利要求1至5任一项所述的照明光学单元，其特征在于，沿各自由场分面(22)和瞳分面(23)形成的照明通道(24)的照明光路(26)的入射角(α,β)与所述场分面(22)和所述瞳分面(23)上的多层反射涂层的布鲁斯特角偏差最多25°，所述分面被对准以用于引导所述照明光(14)的部分束。

7.如权利要求1至6任一项所述的照明光学单元，其特征在于所述场分面反射镜(20)布置在场分面反射镜载体(35)上，所述场分面反射镜载体具有至少一个通路开口(36)，用于被引导在所述瞳分面反射镜(21)和所述物场(5)之间的照明光路(26)的部分中的照明光(14)。

8.如权利要求7所述的照明光学单元，其特征在于所述照明光(14)在所述中间焦点(16)和所述单独反射镜阵列(17)之间被引导通过所述至少一个通路开口(36)。

9.如权利要求7或8所述的照明光学单元，其特征在于所述照明光(14)在所述转移光学单元的部件(38)和所述物场(5)之间被引导通过所述至少一个通路开口(36)，所述部件放置在所述光瞳分面反射镜(21)的下游。

10.照明系统，包括如权利要求1至9任一项所述的照明光学单元(4；32；37；39)和用于将物场(5)成像到像场(10)中的投射光学单元(9)，在所述像场中能够布置要曝光的晶片(12)。

11.投射曝光设备(1)，包括如权利要求10所述的照明系统，并包括EUV光源(3)。