[发明专利]EUV投射光刻的照明光学单元及包含该照明光学单元的光学系统

权利要求书

1.用于EUV投射光刻的照明光学单元(4；26)，用于将照明光(16)引导至照明场(5)，光刻掩模(7)可以布置在照明场中，

-包含具有多个第一分面(25)的第一分面反射镜(19)，用于将所述照明光(16)引导至所述照明场(5)，

-其中，引导照明光部分束(16_i)的一个照明通道(27_i)分别由所述第一分面(25)之一预先确定，

-其中，在所述分面(25)之一上分别引导正好一个照明通道(27_i)，

-其中，所述照明光学单元(4；26)实现为使得：当所述照明光学单元(4；26)运行时，同时入射在所述照明场(5)中相同点的任意对在不同照明通道(27_i)上引导的照明光部分束(16_i)具有相互行程时间差，该相互行程时间差大于所述照明光(16)的相干时间τ_κ，

-包含第二分面反射镜(20)，所述第二分面反射镜在所述照明光(16)的光路中布置在所述第一分面反射镜(19)的下游，并包含多个第二分面(28)，其中，所述第一分面和第二分面(25,28)布置为使得引导照明光部分束(16_i)的一个照明通道(27)相应由第一分面(25)及相关第二分面(28)预先确定，其中，在所述分面(25,28)之一上分别引导正好一个照明通道(27)，其中，所述第一分面反射镜实现为场分面反射镜(19)，所述第二分面反射镜实现为光瞳分面反射镜(20)，其中，光瞳分面反射镜(20)布置在照明光学单元(4)的光瞳平面中，

-包含传输光学单元(21)，用于将所述场分面(25)叠加成像至所述照明场(14)中，所述传输光学单元包含所述光瞳分面反射镜(20)，所述光瞳分面反射镜(20)布置在所述场分面反射镜(19)的下游并包含多个光瞳分面(28)，用于分别反射所述照明光(16)的部分束之一，

-其中，所述照明光学单元能够布置为使得所述照明光源(2)的像到达所述光瞳分面反射镜(20)的所述光瞳分面(28)的位置处，

-其中，所述光瞳分面反射镜(20)的主反射表面(55’)从平面参考表面(55)偏离，使得各照明通道在所述光源(2)与所述照明场(5)的场点的相应一个之间分别具有不同的照明通道长度，借助所述各照明通道，所述照明光(16)的部分束能够撞击所述照明场(5)的各个场点。

2.根据权利要求1所述的照明光学单元，其特征在于，取决于所述照明通道(27)的光路的路径长度之差，在所述照明光部分束(16_i)之间出现行程时间差，

-其中，在所述照明光(16)的光路中在所述照明光分为所述照明光部分束(16_i)之前的位置(18)与所述照明场(5)之间测得的、两个不同照明光部分束(16_i)的行程时间之间的各个差Δt总是大于用于所述照明场(5)的各个位置的所述照明光(16)的相干时间τ_κ。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的照明光学单元，其特征在于，

-光学延迟组件(29；33)，用于将至少一个照明光部分束(16_k)分为多个部分束成分(16_k¹)，其中，所述部分束成分(16_k¹)之间具有成对行程时间差，使得在所述照明光(16)的光路中的位置(18)与所述照明场(5)之间测得的任意照明光部分束(16_k)的部分束成分(16_k¹)的行程时间之间的各个差Δt仍大于所述照明光(16)的相干时间τ_κ，所述位置(18)既位于所述照明光(16)分为所述照明光部分束(16_i)的上游又位于所述延迟组件的上游。