[发明专利]蒸发气体产生装置和蒸发气体制造方法以及溴化氢制造装置和溴化氢制造方法

权利要求书

1.一种蒸发气体产生装置，其特征在于，具备：

容器，所述容器具备：用于收容液体的液体收容部、和与所述液体收容部的上方连续地设置并被导入所述液体收容部内的所述液体蒸发而生成的蒸发气体的蒸发气体收容部；以及

加热部，所述加热部将所述液体收容部和所述蒸发气体收容部这两方加热，使所述液体收容部内的所述液体蒸发，并且使所述蒸发气体收容部内的所述蒸发气体的温度上升。

2.根据权利要求1所述的蒸发气体产生装置，其特征在于，所述容器具有由2个有底筒状构件形成的双重结构，在内侧有底筒状构件与外侧有底筒状构件之间所形成的空间中，下方部分形成所述液体收容部，上方部分形成所述蒸发气体收容部。

3.根据权利要求2所述的蒸发气体产生装置，其特征在于，在所述内侧有底筒状构件的内侧和所述外侧有底筒状构件的外侧的至少一方配置有所述加热部。

4.根据权利要求1～3的任一项所述的蒸发气体产生装置，其特征在于，所述加热部为热介质循环的加热夹套。

5.根据权利要求4所述的蒸发气体产生装置，其特征在于，所述加热夹套，在其上端部分具有所述热介质的供给口，在其下端部分具有所述热介质的排出口。

6.根据权利要求4或5所述的蒸发气体产生装置，其特征在于，所述热介质为水蒸汽。

7.根据权利要求6所述的蒸发气体产生装置，其特征在于，具备：将通过所述水蒸汽的液化而生成的水从所述加热夹套排出的排水部。

8.根据权利要求1～7的任一项所述的蒸发气体产生装置，其特征在于，具备：

向所述液体收容部导入所述液体的液体导入部；

将所述液体蒸发而生成的蒸发气体从所述蒸发气体收容部排出的排出部；

检测所述容器内的所述液体的液面高度的液面检测部；以及

液面控制部，其基于所述液面检测部的检测结果控制所述液体导入部，调整所述液体向所述液体收容部的导入量，使得所述液面高度处于一定的范围内。

9.根据权利要求1～8的任一项所述的蒸发气体产生装置，其特征在于，所述液体为溴。

10.一种蒸发气体制造方法，其特征在于，具备下述工序：

将液体收容部所收容的液体加热，进行控制使得所述液体的液面高度处于一定的范围内，并且使所述液体蒸发而产生蒸发气体的蒸发工序；以及

向与所述液体收容部连续地设置的蒸发气体收容部导入所述蒸发气体并加热的蒸发气体加热工序。

11.根据权利要求10所述的蒸发气体制造方法，其特征在于，所述液体为溴。

12.一种溴化氢制造装置，其特征在于，具备：权利要求9所述的蒸发气体产生装置；供给氢气的氢气供给部；以及使由所述蒸发气体产生装置供给的溴气与由所述氢气供给部供给的氢气进行反应而生成溴化氢的反应器。

13.一种溴化氢制造方法，其特征在于，具备下述工序：

将液体收容部所收容的液体溴加热，进行控制使得所述液体溴的液面高度处于一定的范围内，并且使所述液体溴蒸发而产生溴气的蒸发工序；

向与所述液体收容部连续地设置的蒸发气体收容部导入所述溴气并加热的蒸发气体加热工序；以及

使在所述蒸发气体加热工序中被加热了的溴气与氢气进行反应而生成溴化氢的反应工序。