[发明专利]等离子体产生装置、蒸镀装置以及等离子体产生方法有效
| 申请号： | 201380019358.2 | 申请日： | 2013-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN104221477B | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 古屋英二 | 申请（专利权）人： | 中外炉工业株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/50 | 分类号： | H05H1/50;C23C14/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 韩俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 产生 装置 以及 方法 | ||
【说明书】：
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