[发明专利]用于形成薄膜的蒸镀材料有效
| 申请号： | 201380017052.3 | 申请日： | 2013-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN104271795A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 堀江幸弘;小林健志 | 申请（专利权）人： | 佳能奥普特龙株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;G02B1/11 |
| 代理公司： | 北京瑞盟知识产权代理有限公司 11300 | 代理人： | 刘昕 |
| 地址： | 日本国茨城*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 形成 薄膜 材料 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于形成薄膜的蒸镀材料，其特征在于，由含有钛和铌作为成分的、欠氧的金属氧化物的熔融体形成。
2.根据权利要求1所述的用于形成薄膜的蒸镀材料，其特征在于，在上述金属氧化物中，金属元素数与氧元素数的比率为4:7至5:8。
3.根据权利要求1所述的用于形成薄膜的蒸镀材料，其特征在于，在上述金属氧化物中，金属元素数与氧元素数的比率为3:5。
4.根据权利要求2所述的用于形成薄膜的蒸镀材料，其特征在于，在上述金属氧化物中，铌相对于钛的掺杂量为2mol％以上16mol％以下。
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