[发明专利]显示面板

说明书

技术领域

本发明涉及显示面板。更详细而言，涉及以有源矩阵方式驱动的液晶显示装置所适用的显示面板。

背景技术

作为液晶显示装置等的显示装置的驱动方式，已知有有源矩阵方式。例如，有源矩阵方式的液晶显示装置中，相互正交的栅极配线(也称为“栅极汇流线”)和源极配线(也称为“源极汇流线”)设置为格子状，在通过栅极配线和源极配线划分为矩阵状的各区域配置薄膜晶体管。接着，当对薄膜晶体管的栅极电极通过栅极配线输入扫描信号时，作为开关元件的薄膜晶体管成为导通状态。薄膜晶体管为导通状态时，源极配线中流通的图像信号从薄膜晶体管的源极电极传达到漏极电极，进一步传达到像素电极。输入到各像素电极的图像信号对应于各像素中对应设置的像素电极与在全部像素共用的共用电极之间施加的电压，换而言之，对应于向各像素的液晶施加的电压。这样，根据向液晶施加的电压，使液晶的取向状态发生变化，由此在每个像素控制能够透射液晶的光的量，从而，能够显示高精细的画面。这样的有源矩阵方式，一般在通过多个像素进行显示的电视、监视器等中使用。

在显示装置中，栅极配线、源极配线、薄膜晶体管等多个部件配置于有源矩阵基板上的显示区域。另一方面，在有源矩阵基板上的外周区域配置与栅极配线或源极配线电连接的端子，通过该端子，从外部的电路向有源矩阵基板输入扫描信号、图像信号等显示信号。公开了该端子结构的文献大量已知(例如，参照专利文献1～3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2002-303889号公报

专利文献2：(日本)特开2009-128761号公报

专利文献3：(日本)特开2011-100041号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

有源矩阵基板由于具备多个配线和电极，为了确保配线和电极间的绝缘，一般使用绝缘膜。另外，绝缘膜有时也为了使基板面内的凹凸平坦化而设置，例如，作为像素电极的基底，有时配置由有机材料构成的层间绝缘膜。这样的绝缘膜有时几乎在基板的整个面形成，例如，为了使与栅极配线或源极配线连接的端子露出，有时在基板的外周区域除去绝缘膜。

栅极配线或源极配线中所使用的一般材料，由于容易腐蚀，不适合在基板的外周区域露出。因此，有时利用位于比栅极配线或源极配线更上层的像素电极中使用的材料来覆盖端子的表面。

作为在利用像素电极中使用的材料来覆盖端子的表面的情况下可能产生的问题，可以列举在端子彼此的距离接近时产生端子间短路。这如专利文献1和2中所说明的，是因为在使用光刻印刷将导电膜图案化而形成像素电极和端子的表层时，由于在层间绝缘膜的端部形成的段差而引起端子间的应该除去的导电膜的一部分(以下，称为“残膜”)残留的缘故。

以下，参照附图，详细说明端子间的导电膜不被除去而残留的理由。图1是表示现有的有源矩阵基板的一例的平面示意图。图1的有源矩阵基板中，在基板的下部和右端部，设置配置端子的外周区域60。图2是将图1中的基板的右端部的显示区域50和外周区域60的边界放大得到的平面示意图。图2中所示的栅极配线11中的位于靠近显示区域50的一侧的左半部分被绝缘膜31覆盖，右半部分从绝缘膜31露出。该从绝缘膜31露出的部分是作为端子21发挥功能的部分。图2中，由于端子21间因为导电膜的残膜32d而短路，因此，不能进行所期望的显示。

这里，基于沿图2中的A-B线的剖面图，说明形成导电膜的残膜32d的工序。沿图2中的A-B线的区域是位于端子21间的区域，是本来应该除去导电膜32的区域，但是，如图2所示，在端子21间形成导电膜的残膜32d。

形成导电膜的残膜32d的理由与利用光刻印刷来进行的导电膜32的图案化工序有关。对于导电膜的图案化工序，如图3～图5所示，在以下进行说明。图3是沿图2中的A-B线的剖面图，表示在端子形成用的导电膜32之上，形成有抗蚀剂膜33的状态。图3的端子形成用的导电膜32用于形成像素电极和端子21的表层。图3中，光刻印刷用的抗蚀剂膜33形成于导电膜32上。抗蚀剂膜33由于因导电膜32下的绝缘膜31形成的段差，接近段差的区域的厚度D1厚于其它区域的厚度D2。在光刻印刷中，对图3的抗蚀剂膜33曝光，在此后进行显影。