[发明专利]清洗管线变更用通路块接头以及流体控制装置

权利要求书

1.一种清洗管线变更用通路块接头，该清洗管线变更用通路块接头连接于下层接头部件的上侧，该下层接头部件形成有在上表面分别开口的工艺气体用入口通路、清洗气体用入口通路以及两气体共用的出口通路，其特征在于，该清洗管线变更用通路块接头具有：与下层接头部件的工艺气体用入口通路连通的工艺气体用入口通路；将工艺气体用入口通路与下层接头部件的出口通路连通的出口通路；不与下层接头部件的清洗气体用入口通路连通而将其封闭的通路封闭部；与出口通路连通的新清洗气体用入口通路。

2.一种流体控制装置，一条管线具有：配置于上层的流量控制器、二通阀以及三通阀；配置于下层的多个接头部件，多条管线并列状配置，并且，设置有配置于下层并将多条管线中的至少2条连接的作为接头部件的岐管通路块接头，配置于三通阀的下侧的多个接头部件，通过按各管线设置的通路块接头或者岐管通路块接头的一部分形成三通阀用通路部，该三通阀用通路部构成为包括：分别在上表面开口的工艺气体用入口通路；清洗气体用入口通路；以及两气体共用的出口通路，三通阀具有：分别在下表面开口的工艺气体用气体入口通路；清洗气体用入口通路；以及两气体共用的出口通路，通过三通阀将清洗气体送至流量控制器，其特征在于，

在多条管线中的至少一条中，在三通阀用通路部的上侧连接有三通阀，在多条管线中的至少一条中，在三通阀用通路部的上侧连接有清洗管线变更用通路块接头，清洗管线变更用通路块接头具有：与三通阀用通路部的工艺气体用入口通路连通的工艺气体用入口通路；将工艺气体用入口通路与三通阀用通路部的出口通路连通的出口通路；不与三通阀用通路部的清洗气体用入口通路连通而将其封闭的通路封闭部；与出口通路连通的新清洗气体用入口通路。