[实用新型]一种TCO薄膜有效
| 申请号： | 201320849466.X | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN203746868U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 张恒生;李廷凯 | 申请（专利权）人： | 湖南共创光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0224 | 分类号： | H01L31/0224 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 421001 湖南省衡*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 tco 薄膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种TCO薄膜，其特征是，它包括下层氧化锌接触层、上层氧化锌缓冲层，以及位于下层氧化锌接触层和上层氧化锌缓冲层之间的TCO中间层。
2.根据权利要求1所述TCO薄膜，其特征是，所述TCO薄膜为前电极TCO薄膜，前电极TCO薄膜的上层氧化锌缓冲层表面为U型绒面结构。
3.根据权利要求1或2所述TCO薄膜，其特征是，所述下层氧化锌接触层的厚度为50nm-500nm；所述TCO中间层的厚度为500nm-2400nm；所述上层氧化锌缓冲层的厚度为50nm-500nm；所述TCO薄膜的膜层总厚度为1500nm-2500nm。
4.根据权利要求1或2所述TCO薄膜，其特征是，所述下层氧化锌接触层、上层氧化锌缓冲层和TCO中间层均为掺杂有硼的氧化锌薄膜层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南共创光伏科技有限公司，未经湖南共创光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320849466.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：气味检测方法、装置及系统
- 下一篇：一种乙醇汽油中乙醇含量的核磁共振检测方法
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
