[实用新型]一种电感耦合等离子体源

权利要求书

1.一种电感耦合等离子体源，包括源室（10），所述源室（10）一侧的盖板（7）与法兰（9）固定连接；其特征在于，所述法兰（9）外表面固定有多块磁极交错排列的永磁铁（8）；所述盖板（7）远离所述法兰（9）的一面固定有平面环形电感耦合线圈（5）；所述盖板（7）远离所述法兰（9）的一侧固定有防护罩（13）；所述防护罩（13）一侧与固定在所述源室（10）内的匹配器（14）固定连接；所述平面环形电感耦合线圈（5）中心端通过导电带（3）与所述匹配器（14）的射频输出端电连接，所述平面环形电感耦合线圈（5）另一端与所述匹配器（14）金属外壳固定连接。

2.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体源，其特征在于，所述平面环形电感耦合线圈（5）通过垫条（6）与所述盖板（7）连接，所述平面环形电感耦合线圈（5）上固定有将所述平面环形电感耦合线圈（5）压接固定在所述盖板（7）上的压环（4）。

3.根据权利要求1或2所述的电感耦合等离子体源，其特征在于，所述防护罩（13）上通过安装板（12）安装有用于为所述平面环形电感耦合线圈（5）散热的轴流风机（11）。

4.根据权利要求3所述的电感耦合等离子体源，其特征在于，所述匹配器（14）上设有与所述防护罩（13）固定连接的外罩（1）。

5.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体源，其特征在于，所述平面环形电感耦合线圈（5）由直径4mm~ 8mm的空心镀银铝管绕制而成。

6.根据权利要求5所述的电感耦合等离子体源，其特征在于，所述平面环形电感耦合线圈（5）中心圆弧形的直径大小为16mm~ 24mm。

7.根据权利要求6所述的电感耦合等离子体源，其特征在于，所述平面环形电感耦合线圈（5）相邻两圈之间的间距为16~ 24mm。

8.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体源，其特征在于，相邻两块永磁铁（8）之间的间距为8mm~20mm。