[实用新型]晶棒脱胶和化胶一体化机床

权利要求书

1.一种晶棒脱胶和化胶一体化机床，其特征是包括带有传送轨道（2）的机床底座（1），沿着传送轨道（2）的长度方向依次设有喷淋槽（3）和脱胶槽（4），在喷淋槽（3）和脱胶槽(4)的上方设有可沿传送轨道(2)长度方向移动的提升机构，所述喷淋槽（3）和脱胶槽(4)之间还连接有过滤装置（5）。

2.根据权利要求1所述的晶棒脱胶和化胶一体化机床，其特征是所述传送轨道（2）为两条相互平行的传送带，所述传送带与驱动电机连接。

3.根据权利要求2所述的晶棒脱胶和化胶一体化机床，其特征是所述脱胶槽（4）与水箱（6）连接，所述水箱（6）通过过滤装置（5）和喷淋槽（3）连接。

4.根据权利要求3所述的晶棒脱胶和化胶一体化机床，其特征是所述提升机构包括可沿竖直方向运动的机械手（7）和可沿传送轨道（2）方向运动的驱动装置（8），所述机械手（7）位于驱动装置（8）的下部且与驱动装置（8）的内部连接。

5.根据权利要求4所述的晶棒脱胶和化胶一体化机床，其特征是所述驱动装置（8）与导轨（9）滑动连接，所述导轨（9）与传送轨道（2）的方向平行，驱动装置（8）上设置的齿轮与和导轨（9）平行设置的齿条（10）相互配合。

6.根据权利要求5所述的晶棒脱胶和化胶一体化机床，其特征是所述导轨（9）、齿条（10）的两端均与机架（11）连接。