[实用新型]一种基片运输装置

权利要求书

1.一种基片运输装置，其特征在于，包括： 

一传送系统，所述传送系统包括一轨道和至少一个传送车，所述传送车在所述轨道上运行，所述传送车进一步包括一车架、一车轮对、一电驱动件、一升压变压器和至少两个电极引入件，所述车轮对在所述轨道上运行，所述车架固定在所述车轮对上，所述电驱动件与所述车轮对电连接，所述电驱动件、升压变压器和电极引入件安装在所述车架上；和 

一装片系统，所述装片系统安装在所述传送系统的车架上，所述装片系统包括一固定组件和一调节组件，所述调节组件安装在所述固定组件上，通过调节所述调节组件的位置安装不同规格的基片。 

2.根据权利要求1所述的基片运输装置，其特征在于：所述轨道上通有24V电压，所述电极引入件的一端与所述轨道电连接，所述电极引入件的另一端与所述升压变压器电连接，所述升压变压器同时与所述电驱动件电连接。 

3.根据权利要求2所述的基片运输装置，其特征在于：所述车架包括相连的上车架和下车架，所述装片系统安装在上车架上，所述下车架与所述车轮对固定连接，所述电驱动件与所述车轮对电连接，所述电驱动件、升压变压器和电极引入件安装在所述下车架上。 

4.根据权利要求3所述的基片运输装置，其特征在于：所述传送车上进一步包括一传送座，通过所述传送座传送装片系统，所述传送座进一步包括一传送电机、至少两个传送元件和一传送带，所述传送电机与所述电驱动件电连接，所述传送电机与至少一个传送元件电连接，且两个传送元件经所述传送带传送驱动，所述传送电机带动所述传送元件同步运动。 

5.根据权利要求4所述的基片运输装置，其特征在于：所述固定组件包括第一支撑杆、第二支撑杆、第一挡板和第二挡板，所述第一支撑杆、第一挡板、第二支撑杆和第二挡板两两连接形成一方形框架，所述第一支撑杆和所述第二支撑杆上分别设有至少两个导槽区域；所述调节组件安装在所述固定组件上，所述调节组件包括至少两个调节梁和至少一组定位件，所述定位件可拆卸的安装在所述调节梁上，所述调节梁安装在所述第一支撑杆和第二支撑杆的导槽区域上。 

6.根据权利要求5所述的基片运输装置，其特征在于：所述导槽区域进一步包括一导槽和一安置区，所述导槽设置在所述安置区内，所述导槽呈竖直方向。 

7.根据权利要求6所述的基片运输装置，其特征在于：所述安置区的长度不小于所 述导槽的长度，所述安置区的宽度不小于所述导槽的宽度。 

8.根据权利要求6所述的基片运输装置，其特征在于：所述固定组件的第一支撑杆和第二支撑杆上进一步分别设有中心安置区域，所述中心导位区域设置在所述第一支撑杆和所述第二支撑杆中间。 

9.根据权利要求8所述的基片运输装置，其特征在于：所述调节梁安装在所述第一支撑杆和第二支撑杆的导槽区域和/或中心安置区域，所述调节梁包括一第一端部、一第二端部和一横梁，所述横梁的两端连接第一端部和第二端部，所述第一端部和所述第二端部的厚度小于横梁的厚度，所述第一端部和所述第二端部的厚度一致。 

10.根据权利要求5所述的基片运输装置，其特征在于：所述基片运输装置进一步包括一导向系统，所述导向系统包括一定位导向件和一装片导向件，所述定位导向件和所述装片导向件配合，所述定位导向件和所述装片导向件分别设置在所述传送系统和所述装片系统上。 

11.根据权利要求9所述的基片运输装置，其特征在于：所述导槽区域包括第一导槽区域和第二导槽区域，所述第一导槽区域的面积大于所述第二导槽区域。 

12.根据权利要求5所述的基片运输装置，其特征在于：所述定位件包括一第一定位元件和一第二定位元件，所述第一定位元件拆卸安装在一调节梁上，所述第二定位元件可拆卸安装在另一调节梁上，所述第一定位元件的安装位置高于所述第二定位元件。 

13.根据权利要求12所述的基片运输装置，其特征在于：所述第一定位元件和所述第二定位元件通过螺钉安装在所述调节梁上。 

14.根据权利要求12所述的基片运输装置，其特征在于：所述第一定位元件为一弹性元件；第二定位元件为一卡槽。