[实用新型]用于高纯锗烷气中微量杂质分析的氦离子化气相色谱仪有效
| 申请号： | 201320818912.0 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN203672844U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 庄鸿涛;郁光;方华 | 申请（专利权）人： | 上海华爱色谱分析技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/20;G01N30/60 |
| 代理公司： | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人： | 陈志良 |
| 地址： | 200233 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 高纯 锗烷气中 微量 杂质 分析 离子化 色谱仪 | ||
1.用于高纯锗烷气中微量杂质分析的氦离子化气相色谱仪，其特征在于：所述的氦离子化气相色谱仪包括色谱柱箱、温控系统、信号采集处理系统和尾气处理系统，所述的信号采集系统包括氦离子化检测器和色谱柱工作站，所述的温控系统实现各个色谱柱和检测器的独立控温，并且控制色谱柱温度按照时间程序升温，所述色谱柱工作站的结构包括三个切换阀、三个色谱柱、四个针阀和三个载气气路，所述的三个切换阀为一个十通阀和两个六通阀，所述的氦离子化检测器与色谱柱工作站的线路连接。
2.根据权利要求 1 所述的用于高纯锗烷气中微量杂质分析的氦离子化气相色谱仪，其特征在于：所述色谱柱工作站的三个切换阀、三个色谱柱、四个针阀和三个载气气路分别为第一切换阀（1）、第二切换阀（2）、第三切换阀（3）、第一根Hayesep Q色谱柱（14）、第二根Hayesep Q色谱柱（16）、5A分子筛色谱柱（15）、第一针阀（17）、第二针阀（18）、第三针阀（19）、第四针阀（20）、第一载气气路（11）、第二载气气路（12）和第三载气气路（13），它们的连接线路为：
第一切换阀（1）上设有第一根Hayesep Q色谱柱（14）；第二切换阀（2）和第三切换阀（3）之间设有第二根Hayesep Q色谱柱（16）；第一切换阀（1）和第三切换阀（3）之间设有5A分子筛色谱柱（15）；第二切换阀（2）上接有第一针阀（17）和第二针阀（18）；第三切换阀（3）上接有第三针阀（19），第四针阀（20）和所述的氦离子化检测器相连；第一载气气路（11）气路与第一切换阀（1）的④号接口连接、第二载气气路（12）气路与第一切换阀（1）的⑧号接口连接；样品进口与第一切换阀（1）的①号接口连接，样品出口与第一切换阀（1）的②号接口连接，第一切换阀（1）的③号接口与第一切换阀（1）的⑩号接口用管路连接，在该管路上还设有定量管（5）；第一切换阀（1）的⑨号接口和第一切换阀（1）的⑥号接口连接的管路上设有第一根Hayesep Q色谱柱（14）；第一切换阀（1）的⑤号接口和5A分子筛色谱柱（15）一端连接；第一切换阀（1）的⑦号接口和第二切换阀（2）的①号接口连接，第三载气气路（13）气路与第二切换阀（2）的③号接口连接；第二切换阀（2）的②号接口与第二根Hayesep Q色谱柱（16）一端连接；第二切换阀（2）的④号接口与第二针阀（18）连接、第二切换阀（2）的⑥号接口与第一针阀（17）连接，第三切换阀（3）的①号接口与检测器（4）连接；第三切换阀（3）的②号接口与第二根Hayesep Q色谱柱（15）另一端连接；第三切换阀（3）的⑥号接口和5A分子筛色谱柱（15）另一端连接；第三切换阀（3）的⑤号接口与第三针阀（19）连接、第三切换阀（3）的③号接口与第四针阀（20）连接。
3.根据权利要求 2所述的用于高纯锗烷气中微量杂质分析的氦离子化气相色谱仪，其特征在于：所述的第一针阀（17）、样品出口气路和氦离子化检测器（4）出口连接到尾气处理系统上。
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