[实用新型]一种质谱仪真空系统分子泵与离子腔的装卸结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种质谱仪真空系统分子泵，具体来说，是一种质谱仪真空系统分子泵与离子腔的装卸结构。

背景技术

质谱仪中的主要部件（包括离子源、四极杆、检测器等）均处于真空系统中。真空环境是为了减少离子与背景气体的碰撞淬灭，使背景气体分子数量大大减少，以维持足够的离子平均自由程，当真空达到一定程度时，粒子之间的碰撞就可以忽略不计，这时对离子的分析才是真实可靠的。

质谱仪的真空系统是由两级真空，机械泵，分子泵来实现的。真空系统的气密性是决定质谱仪性能的关键因素，而分子泵与离子腔直接相连，所以对气密性的要求更高。传统的分子泵与离子腔安装方式如图1所示，需安装上下锁紧块，四周采用四组锁紧螺母进行安装，这种方式下，仅靠人为很难使四组螺母达到紧固程度相同的状态，容易造成漏气，影响质谱仪性能，且安装及拆卸均较麻烦，需反复衡量力度方可。

发明内容

本实用新型需要解决的技术问题是：现有的质谱仪真空系统分子泵与离子腔的装卸结构，需采取多组上下锁块，配合锁紧螺母进行锁紧固定，难以确保多组锁紧螺母处于同一锁紧程度，容易造成漏气，需反复衡量力度，且拆装麻烦。

本实用新型采取以下技术方案：

一种质谱仪真空系统分子泵与离子腔的装卸结构，包括离子腔1、分子泵6，还包括抱箍8，所述抱箍8包括一对半圆形的卡箍，一对卡箍的一端转动连接，另一端通过锁紧螺母2锁紧/松开；所述离子腔1与分子泵6均设有接口端面；所述抱箍8的横截面呈匚字形，并将离子腔1及分子泵6的接口端面夹紧。

本技术方案的特点是，采用横截面呈“匚”字形的抱箍，将分子泵6与离子腔1的接口端面夹紧，抱箍8与两个接口端面均匀接触夹紧，使得分子泵与离子腔受力均衡，避免产生泄漏或微泄漏；同时，采用抱箍只需采用锁紧螺母一次夹紧，操作方便。

进一步的，所述离子腔1与分子泵6之间还设有O型密封圈。

进一步的，所述接口端面与抱箍8的夹紧面之间还设有内衬。

更进一步的，所述内衬7采用橡胶材质。

进一步的，所述一对半圆形的卡箍分别与连杆8a铰接。

本实用新型的有益效果在于：

1）离子腔与分子泵固定连接后受力均匀，不会造成漏气，可靠性高。

2）一次完成两个接口端面和抱箍的接触动作，操作简便。

3）只需一次夹紧动作，完成夹紧，装卸速度快，效率高。

附图说明

图1是现有技术中的质谱仪真空系统分子泵与离子腔的装卸结构图。

图2是本实用新型的质谱仪真空系统分子泵与离子腔的装卸结构图。

图3是抱箍的结构示意图。

图中，1.离子腔，2.锁紧螺母，3.上锁紧块，4.下锁紧块，5.O型密封圈，6.分子泵，7.内衬，8.抱箍，8a.连杆。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型进一步说明。

如图2所示的质谱仪真空系统分子泵与离子腔的装卸结构，包括一个紧固抱箍装置，抱箍装置由抱箍8及锁紧螺母2等构成。安装时，在离子腔1与分子泵6间垫好密封用的O型密封圈，将抱箍8的锁紧螺母2打开，卡在离子腔1与分子泵6的内衬上，在将锁紧螺母2锁紧即可。拆卸时，仅需将锁紧螺母2打开即可。

具体再参见图2-3，一种质谱仪真空系统分子泵与离子腔的装卸结构，包括离子腔1、分子泵6，还包括抱箍8，所述抱箍8包括一对半圆形的卡箍，一对卡箍的一端转动连接，另一端通过锁紧螺母2锁紧/松开；所述离子腔1与分子泵6均设有接口端面；所述抱箍8的横截面呈匚字形，并将离子腔1及分子泵6的接口端面夹紧。

进一步的，所述离子腔1与分子泵6之间还设有O型密封圈，密封效果更佳。

进一步的，所述接口端面与抱箍8的夹紧面之间还设有内衬，夹紧和防滑效果更佳。

更进一步的，所述内衬7采用橡胶材质。

进一步的，所述一对半圆形的卡箍分别与连杆8a铰接，卡箍的灵活度较好。

本实施例采用横截面呈“匚”字形的抱箍，将分子泵6与离子腔1的接口端面夹紧，抱箍8与两个接口端面均匀接触夹紧，使得分子泵与离子腔受力均衡，避免产生泄漏或微泄漏；同时，采用抱箍只需采用锁紧螺母一次夹紧，操作方便。

本实用新型提供了一种分子泵与离子腔快速装卸的系统，能够解决质谱仪装配中快速装卸的问题，安装轻便，适用于大批安装，结构简单，易于加工，气密性好。

采用该装卸结构可有效地提高分子泵的装卸速度，便于大规模生产，且能够保证离子腔与分子泵的良好密封，有效提高质谱仪性能。