[实用新型]一种底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台

权利要求书

1.一种底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括，

基座；

摩擦振子，所述的摩擦振子安装在所述的基座上；

振子驱动源，所述的振子驱动源安装在所述的摩擦振子与所述的基座之间，向摩擦振子提供驱动力；

滑块，设置于所述的摩擦振子上方，且与摩擦振子相互接触产生摩擦力；

其特征在于：

所述的滑块底部与所述的基座之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，所述的预紧力调整结构包括提供所述预紧力的V型弹簧和用于调整所述V型弹簧的调整螺钉，所述的V型弹簧通过所述调整螺钉压缩形变地安装在所述的基座上，所述的预紧力调整结构用于调整所述的预紧力大小，所述滑块与摩擦振子之间产生粘滑效应，所述滑块做跨尺度精密运动。

2.如权利要求1所述的底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，其特征在于：所述V型弹簧的凹部固定于所述基座的底部，所述V型弹簧的顶部与所述滑块的底部接触，所述调整螺钉设置于所述V型弹簧底部，通过调整所述调整螺钉的螺纹旋和长度来调整所述V型弹簧变形量。

3.如权利要求1所述的底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，其特征在于：还包括双列交叉滚柱导轨，所述双列交叉滚柱导轨通过固定螺钉紧固于所述基座上，所述滑块沿所述双列交叉滚柱导轨滑动。

4.如权利要求3所述的底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，其特征在于：所述双列交叉滚柱导轨包括左侧导轨、右侧导轨、保持架和交叉滚柱，所述左侧导轨、右侧导轨分别通过螺钉固定于所述基座上，所述滑块设置于所述左侧导轨、右侧导轨之间，所述保持架和交叉滚柱为所述滑块的运动提供滚动支撑。

5.如权利要求1所述的底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，其特征在于：所述的摩擦振子为柔性铰链结构。

6.如权利要求5所述的底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，其特征在于：所述的柔性铰链结构包括固定安装在所述的基座上的平行板柔性铰链，所述的平行板柔性铰链之间具有横梁部，所述的V型弹簧套接于所述的横梁部底部。

7.如权利要求1所述的底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，其特征在于：所述的振子驱动源包括叠堆型压电陶瓷和驱动电源，所述的叠堆型压电陶瓷通过导线与驱动电源电连接。

8.如权利要求7所述的底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，其特征在于：所述的叠堆型压电陶瓷一端通过预紧螺母固定安装在所述的基座上，另一端与所述的摩擦振子接触。

9.如权利要求1所述的底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，其特征在于：所述的基座和滑块采用铝合金或钛合金材料制成。