[实用新型]单晶炉中轴盖

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉工具，特别是一种单晶炉中轴盖。

背景技术

单晶炉制取单晶晶棒过程中产生灰尘、颗粒，在炉体以及热场部件中附着，需要清理，清理过程中容易进入到炉体下部管道的波纹管中。容易导致波纹管损坏，以及影响单晶制取正常进行。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种防止氧化物粉尘、颗粒堵塞管道的单晶炉中轴盖。

为解决上述技术问题，本实用新型单晶炉中轴盖，包括接触板以及设置在所述接触板上、下表面的内圈及提拉环；其中所述接触板为圆形，所述接触板的直径大于单晶炉中轴管道口的内直径；所述内圈为圆形，所述内圈的直径小于单晶炉中轴管道口的内直径。所述接触板与所述内圈同轴设置。

本实用新型单晶炉中轴盖使用中轴盖，在单晶炉热场清扫过程中覆盖在中轴管道之上，防止氧化物粉尘、颗粒堵塞管道。

附图说明

图1为本实用新型单晶炉中轴俯视视图；

图2为本实用新型单晶炉中轴盖正视图

图3为本实用新型单晶炉中轴盖使用示意图。

本实用新型单晶炉中轴盖附图中附图标记说明：

1-单晶炉   2-中轴盖   3-管道口

4-中轴     5-接触板   6-内圈

7-提拉环

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型单晶炉中轴盖作进一步详细说明。

如图1～图3所示，本实用新型单晶炉中轴盖，包括：圆形接触板5以及设置在接触板5下表面的圆形内圈6，接触板5与内圈6同轴设置。在接触板5上表面上安装提拉环7。接触板5的直径大于单晶炉1中轴4管道口3的内直径；内圈6的直径小于单晶炉1中轴4管道口3的内直径。

单晶炉1台制取单晶结束后，清扫炉台时，或者在其他情况需要清扫炉台时，下降中轴4至管道口3下部，中轴4下降至平齐管道口3之后，手拿提提拉环7，盖上中轴4盖2，使接触板5与管道口3后接触良好，进行正常清扫，包括单晶炉1炉内热场部件，热场部件以及炉内清扫结束后，手拿提拉环7，取出中轴4盖2。

本实用新型单晶炉中轴盖使用中轴盖，在单晶炉热场清扫过程中覆盖在中轴管道之上，防止氧化物粉尘、颗粒堵塞管道。

以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。