[实用新型]CO2激光器的气路结构及CO2激光器

说明书

技术领域

本实用新型属于激光器气路结构技术领域，尤其涉及一种CO₂激光器的气路结构和具有此结构的CO₂激光器。 

背景技术

二氧化碳激光器是以CO₂气体作为工作物质的气体激光器。传统的CO₂激光器的气路结构（如图1所示），包括回气热交换器10，回气管20，谐振腔30，连接管40、配气管50，进气热交换器60，涡轮风机70，由图1可看出，回气热交换器通过回气管连接所述谐振腔，谐振腔通过连接管连接配气管的一端，配气管的另外一端连接进气热交换器，涡轮风机的两端分别连接回气热交换器和进气热交换器。CO₂激光器工作气体（所谓的工作气体，就是将纯度达到一定程度的（比如纯度大于99.999%）的CO₂，N2和He以一定的比例混合，达到能够在高压放电激励下稳定产生激光的气体）的基本循环流程下：涡轮风机将工作气体压缩后进入进气热交换器；经进气热交换器冷却后进入配气管，然后经连接管进入谐振腔。在谐振腔中被电离后的气体经回气管循环至回气热交换器。经回气热交换器冷却后的工作气体，回到涡轮风机，从而完成气路的循环。 

请参见图2和图3，图2为现有技术中使用配气管连接进气热交换器和谐振腔的细节结构图，图3为现有技术中使用配气管连接进气热交换器和谐振腔的配气方式示意图。谐振腔包括放电管1、支撑板2、端板3、阳极座4、法兰座5、连接管40、配气管50、配气管连接组件8、进气热交换器60，放电管1固定设置在支撑板2上，放电管一端固定设置在端板3上，放电管1靠近端板3处分别设置一个阳极座4和法兰座5，连接管40的一端制成法兰接口方便和法兰座5连接，连接管40的另外一端连接配气管50，配气管50的另外一端通过配气管组件8连接进气热交换器60。CO₂激光器在工作时，内部气压100mBar左右，接近真空状态。谐振腔在常压和工作气压之间变动时，连接配气管和阳极之间的波纹管由于收缩而在谐振腔横向方向产生应力，导致谐振腔横向变形，影响激光输出的功率和模式。较多的气路连接点会降低激光器密封的可靠性，同时配气管在机箱内占用一定的空间，造成放电管两侧空间狭小，不利于激光器的装配和维修。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单、装配快捷的激光器气路结构，旨在解决现有的CO₂激光器占据空间大，且装配和维修不方便的问题。 

本实用新型是这样实现的，一种CO₂激光器的气路结构，包括回气热交换器，谐振腔，进气热交换器，涡轮风机，所述回气热交换器通过 回气管连接所述谐振腔，所述涡轮风机分别连接所述回气热交换器和所述进气热交换器，所述谐振腔通过一连接管直接连接所述进气热交换器。 

较优的，所述谐振腔内设置一放电管、若干支撑板、端板、一阳极座和第一法兰座，所述放电管通过所述支撑板固定在所述谐振腔内，所述端板固定连接所述放电管一末端，所述阳极座套接所述放电管且靠近所述端板，且所述第一法兰座固定设置在所述阳极座上。 

较优的，所述进气热交换器上设置一配气座，所述连接管的一端连接所述第一法兰座；所述配气座设置第二法兰座，所述连接管另一端通过第二法兰座连接所述配气座。 

较优的，所述连接管的长度大于所述第一法兰座和第二法兰座之间的直线距离。 

较优的，所述连接管为波纹管。 

本实用新型还提供了一种CO₂激光器，包括前述的气路连接结构。 

本实用新型提供的CO₂气路结构和CO₂激光器，取消了常规的配气管后使用较长的连接管，直接从进气热交换器连接到谐振腔，有效减少了谐振腔横向方向产生应力，同时使整个激光器上方变得空旷，装配和维修时候，正常标准工具就能很方便地解决问题。 

附图说明

图1是现有技术公开的CO₂激光器气路结构图； 

图2是图1中配气管连接热交换器和谐振腔的详细结构示意图； 

图3是图1中配气管连接热交换器和谐振腔的又一详细结构示意图； 

图4是本实用新型实施例提供的CO₂激光器气路结构示意图； 

图5是图3中通过连接管连接热交器和谐振腔结构示意图; 

图6是图3中连通过接管连接进气热交换器和谐振腔的另一结构示意图。 

具体实施方式