[实用新型]CO2激光器的气路结构及CO2激光器

权利要求书

1.一种CO₂激光器的气路结构，包括回气热交换器，谐振腔，进气热交换器，涡轮风机，所述回气热交换器通过回气管连接所述谐振腔，所述涡轮风机分别连接所述回气热交换器和所述进气热交换器，其特征在于，所述谐振腔和所述进气热交换器通过连接管直接连接。 

2.根据权利要求1所述的CO₂激光器的气路结构，其特征在于，所述谐振腔内设置一放电管、若干支撑板、端板、一阳极座和第一法兰座，所述放电管通过所述支撑板固定在所述谐振腔内，所述端板固定连接所述放电管一末端，所述阳极座套接所述放电管且靠近所述端板，所述第一法兰座固定设置在所述阳极座上。 

3.根据权利要求2所述的CO₂激光器的气路结构，所述进气热交换器上设置一配气座，所述连接管的一端连接所述第一法兰座；所述配气座设置第二法兰座，所述连接管另一端通过第二法兰座连接所述配气座。 

4.根据权利要求3所述的气路结构，其特征在于，所述连接管的长度大于所述第一法兰座和第二法兰座之间的直线距离。 

5.根据权利要求4所述的CO₂激光器的气路结构，其特征在于，所述连接管为波纹管。 

6.一种CO₂激光器，其特征在于，包括权利要求1-5任意一项所述的气路连接结构。