[实用新型]一种基于超磁致伸缩转换器的高精度高频微泵

权利要求书

1.一种基于超磁致伸缩转换器的高精度高频微泵，其特征在于：

包括超磁致伸缩棒(4)、位于超磁致伸缩棒(4)周围的复合温度补偿控制装置、位于超磁致伸缩棒(4)右端的无摩擦柔性铰链输出泵腔机构、由位于超磁致伸缩棒(4)左端的预压螺钉以及柔性铰链输出杆右端的预压弹簧共同组成的预压装置、位于柔性铰链输出杆(17)左端的超磁致伸缩转换器装置；

所述复合温度补偿控制装置包括左外端盖(22)、蝶形弹簧Ⅰ(2)、左内端盖(21)、蝶形弹簧Ⅱ(20)、热补偿内套筒(5)、相变材料(3)和热补偿外壳筒(6)，其中热补偿内套筒(5)和热补偿外壳筒(6)通过细牙螺纹相连接，内部形成密封腔，在其内部充入相变材料(3)；

所述无摩擦柔性铰链输出泵腔机构包括柔性铰链输出杆(17)、外壳(18)和右端盖(10)，外壳(18)与右端盖(10)之间通过螺栓连接并配有O型密封毡圈(11)，柔性铰链输出杆(17)与外壳(18)过盈配合，以保证泵腔的密封性，右端盖(10)上开两个圆孔分别与吸液单向阀(15)和排液单向阀(12)相接，实现泵的吸排液工作；

所述超磁致伸缩转换器装置包括超磁致伸缩棒(4)、以及绕于超磁致伸缩棒周围的温度补偿装置、线圈架(8)、驱动线圈(7)、偏置线圈(19)；温度补偿装置可沿超磁致伸缩棒(4)左右滑动，实现热膨胀自动线补偿。

2.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩转换器的高精度高频微泵，其特征在于：所述热补偿内套筒(5)和热补偿外壳筒(6)采用与超磁致伸缩棒(4)热膨胀系数相等的铁基材料，热补偿内套筒(5)和热补偿外壳筒(6)的热膨胀系数和长度的乘积等于超磁致伸缩棒(4)的热膨胀系数和长度的乘积。

3.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩转换器的高精度高频微泵，其特征在于：调节螺钉(1)、左内端盖(21)、外壳(18)、柔性铰链输出杆(17)和超磁致伸缩棒(4)构成闭合磁路；热补偿内套筒(5)和热补偿外壳筒(6)采用导磁率小的材料，以保证减少磁致伸缩棒(4)的磁漏。

4.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩转换器的高精度高频微泵，其特征在于：调节螺钉(1)、超磁致伸缩棒(4)、柔性铰链输出杆(17)、预压弹簧(9)构成预压力机构，同时调节螺钉(1)施加力与预压弹簧(9)施加力相等，在轴方向上相互抵消。

5.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩转换器的高精度高频微泵，其特征在于：所 述柔性铰链输出杆(17)、外壳(18)和右端盖(10)构成无摩擦柔性铰链输出泵腔机构；其中柔性铰链输出杆(17)凹口形状采用直圆和导圆角混合型柔性铰链，并取材料为刚度系数不大的UHMWPE材料。

6.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩转换器的高精度高频微泵，其特征在于：所述右端盖(10)设有圆环凸台，既有利于对柔性铰链的定位，也有利于减小泵腔空间，提高泵腔的真空度。