[实用新型]一种真空镀膜室有效
| 申请号： | 201320645911.0 | 申请日： | 2013-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN203474888U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 关秉羽 | 申请（专利权）人： | 辽宁北宇真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 铁岭天工专利商标事务所 21105 | 代理人： | 靳万清 |
| 地址： | 112000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜室，包括镀膜室罐体（1），镀膜室罐体（1）底部具有罐体安装支架（2），镀膜室罐体（1）内设有筒形弧形板安装转架（3），筒形弧形板安装转架（3）具有筒体（4），其特征在于：所述筒形弧形板安装转架（3）的筒体（4）内固定装有与该筒体（4）形状相配合的气密封空心筒（5）。
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