[实用新型]一种仿生尺蠖型压电旋转驱动器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种仿生尺蠖型压电旋转驱动器，属于精密加工领域。该驱动器能够实现高精度、大载荷输出，可被广泛应用于超精密加工机床、精密超精密微细加工与测量技术、材料试件纳米力学性能检测、微机电系统（MEMS）、精密光学、半导体制造、现代医学与生物遗传工程、航空航天、机器人、军事技术等高尖端的科学技术领域，具有较高的科研价值和良好的商业化前景。

背景技术

伴随着科学技术的迅猛发展，对产品加工精度的要求越来越高，尤其是在精密超精密微细加工与测量技术、微机电系统（MEMS）、纳米科技、半导体制造、现代医学与生物遗传工程、航空航天科技、军事技术等高尖端的科学技术领域中显得格外重要。要想实现产品零件的精密超精密加工，就必须提供一种合适的高精度的驱动装置。传统的驱动装置，如普通电机、丝杠螺母、涡轮蜗杆等宏观大尺寸驱动装置已不能满足其精度要求。因此，各国的科研人员倾力于研究性能更优越的新型高精度驱动装置。

所谓新式驱动装置，是指采用新型材料作为电能—机械能转换元件，再通过传动机构，使目标机构产生一定动作的装置。通过各国科研人员的不断探索，相当多的新型驱动装置已经被研制出来了，其中的一些已经在实际中得到了相关的应用。按照驱动元件的不同，新型驱动装置大体可分为以下几类：相变材料驱动装置、热变形驱动装置、形状记忆合金驱动装置、电磁驱动装置、静电驱动装置、磁致伸缩驱动装置、电流变驱动装置、电致伸缩驱动装置、压电驱动装置等。其中能达到纳米级精度的目前只有电致伸缩驱动装置和压电驱动装置。相比于电致伸缩驱动装置，压电驱动装置因为体积小重量轻、响应快(微秒级)、控制特性好、能量密度大、能耗低、不受磁场影响等特点而得到了更广泛的应用。

现有的旋转驱动装置在驱动压电叠堆与驱动臂之间，往往通过简单地平面接触，这样在驱动时便会存在运动的干涉，影响驱动器的精度；并且，现有的旋转驱动器大都通过箝位压电叠堆对曲面进行箝位，由于加工的精度不足，这样的箝位面往往接触不充分，磨损严重，便会对驱动器的承载能力产生影响，甚至影响驱动器的寿命。

因此设计一种驱动精度高、承载能力大的新型压电旋转驱动器十分必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种仿生尺蠖型压电旋转驱动器，其中驱动单元中驱动压电叠堆和驱动臂之间仿照齿条齿轮传动的特点，驱动压电叠堆一端加工成齿条齿廓的形状，驱动臂与驱动压电叠堆的接触面加工成齿轮渐开线齿廓的形状，这样的接触表面，使得驱动单元无运动干涉，驱动更加精确；箝位单元采用环形箝位压电叠堆，通过环形箝位压电叠堆的两端伸长，利用环形平面之间的静摩擦力实现旋转箝位，箝位面积大且箝位面接触充分，能够实现高精度、大载荷输出。

本实用新型是由第一输出轴、第一箝位预紧螺栓、第一箝位预紧环、第一复位弹簧、第一环形箝位压电叠堆、第一驱动压电叠堆架、驱动臂、第一驱动压电叠堆、第一驱动预紧块、第一驱动预紧螺栓、底座、第二环形箝位压电叠堆、第二箝位预紧环、第二输出轴、驱动轴、第二复位弹簧、第二驱动压电叠堆架、第二驱动压电叠堆、第二驱动预紧块、第二驱动预紧螺栓、第二箝位预紧螺栓组成；

所述的第一输出轴和第二输出轴分别通过螺栓连接在驱动轴的两端，共同构成了该驱动器的主轴；第一驱动压电叠堆架和第二驱动压电叠堆架分别通过螺栓安装在底座的两侧；第一驱动压电叠堆和第二驱动压电叠堆分别安装在第一驱动压电叠堆和第二驱动压电叠堆架的定位槽内，一侧由第一驱动预紧螺栓和第二驱动预紧螺栓通过第一驱动预紧块和第二驱动预紧块分别对其提供预紧力，另一侧则通过齿条齿廓面分别与驱动臂两侧的齿轮渐开线齿廓面接触；第一复位弹簧和第二复位弹簧分别安装在两驱动压电叠堆架上，另一侧分别紧压驱动臂的两端，为其提供恢复力；驱动轴装配在底座的通孔内；驱动臂套接在驱动轴上；第一环形箝位压电叠堆和第二环形箝位压电叠堆分别安装在驱动臂和底座上，由第一箝位预紧螺栓等和第二箝位预紧螺栓通过第一箝位预紧环和第二箝位预紧环分别为其提供预紧力。

所述的第一驱动压电叠堆和第二驱动压电叠堆分别与驱动臂之间仿照齿条齿轮传动的特点，第一驱动压电叠堆和第二驱动压电叠堆一端加工成齿条齿廓的形状，驱动臂与第一驱动压电叠堆和第二驱动压电叠堆的接触面加工成齿轮渐开线齿廓的形状，这样的接触面在驱动时，好比是通过齿条向齿轮传递动力，通过齿条齿轮传动的特点可知，这样的结构可以避免运动干涉，有利于提高驱动器的精度。