[实用新型]一种清洁装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子技术的清洁技术领域，尤其涉及一种清洁装置。 

背景技术

掩膜板被广泛应用于微电子工艺中。为了保证成像的质量，在使用掩膜板之前，需要对掩膜板的清洁度实施了严格的控制，保证不会因为掩模板存在灰尘等物质，而影响到成像产生各种不良而造成重大损失。 

现有技术中，通常通过操作员手拿气枪，通过气枪在掩膜板上来回移动气枪，而使喷出的气体对掩膜板进行清洁，当清洁完一片掩膜板之后，再对另一片掩膜板进行清洁。 

但是上述现有技术存在如下技术问题： 

因为，气枪通常只有一喷嘴，在对掩膜板进行清洁时，需要在掩膜板的纵向和横向上移动，因此，清洁一片掩膜板的时间较长，从而导致清洁掩膜板的速度慢，效率低。 

实用新型内容

本申请提供一种清洁装置，解决了现有技术中清洁掩膜板的速度慢，效率低的技术问题，达到提高清洁效率的技术效果。 

一种清洁装置，用于清洁一被清洁件，所述清洁装置包括支撑体和可移动地设置在所述支撑体上的清洁部，所述清洁部上开设有用于使气流通过的第一组气孔，所述第一组气孔包括多个气孔，通过所述多个气孔喷出的气流以清洁所述被清洁件。 

优选地，所述第一组气孔包括N个并列第一气孔和P个并列第二气孔，从所述N个第一气孔出来的第一气流的方向和所述P个第二气孔出来的第二气流 的方向不同，其中N和P为大于等于1的整数。 

优选地，所述第一气孔的第一中心轴与所述第二气孔的第二中心轴的第一夹角大于0度小于135度，其中N和P为大于等于1的整数。 

优选地，所述第一夹角为45度。 

优选地，所述清洁部为长条形。 

优选地，所述清洁部具有弧形的端面，所述N个并列第一气孔和P个并列第二气孔开设于所述弧形的端面上。 

优选地，所述清洁装置还包括气源，所述第一组气孔与所述气源连接，所述气源气压大于大气压。 

优选地，所述支撑体为框体状。 

优选地，所述支撑体的第一边缘上开设有第二组气孔，与所述第一边缘相对的第二边缘上开设有第三组气孔，所述第二组气孔和所述第三组气孔与所述气源连接，所述第一组气孔位于所述第二组气孔和所述第三组气孔之间。 

优选地，所述清洁装置还包括设置于支撑体上的真空管。 

优选地，所述清洁部上设置有距离传感器，用于检测所述清洁部与所述被清洁件之间的距离。 

优选地，所述支撑体的第一边缘上设置有第一限位传感器，与所述第一边缘相对的第二边缘上设置有第二限位传感器，所述第一限位传感器和第二限位传感器用于检测所述清洁部移动的距离。 

优选地，所述清洁装置还包括控制面板，所述控制面板用于控制所述气源、所述距离传感器、所述第一限位传感器和所述第二限位传感器连接。 

优选地，所述清洁装置还包括用于驱动所述清洁部移动的驱动件。 

优选地，所述清洁装置还包括控制面板，所述控制面板与所述气源或/和驱动件连接。 

优选地，所述驱动件包括电机、与所述电机连接的齿轮，和设置于所述清洁部上并与所述齿轮啮合的齿条。 

优选地，所述驱动件具体为汽缸，所述汽缸的第一端固定于所述支撑体上，与第一端相对的第二端固定于所述清洁部上。 

本申请有益效果如下： 

通过采用上述清洁装置设置可相对于支撑体移动的清洁部，并在清洁部上开设有第一组气孔，在清洁被清洁件时，只需要清洁部相对于被清洁件来回移动，即可清洁所述的被清洁件，而不必在被清洁件的纵向和横向上都移动，解决了现有技术中清洁掩膜板的速度慢，效率低，达到提高清洁效率的技术效果。 

通过将第一气孔的第一中心轴与所述第二气孔的第二中心轴的第一夹角设置为大于0度小于135度，即保证了从第一气孔和第二气孔出来的气流能够吹到被清洁件的表面上，且从第一气孔中出来的气流的第一气流方向和从第二气孔出来的气流的第二气流方向与被清洁件表面有一定的夹角，从而不仅能够被清洁件的表面的灰尘等吹走，且更便于将被清洁件的凹槽内的灰尘等物质吹起，进一步提升被清洁件的清洁度。 

通过在清洁部上设置距离传感器，从而保证了清洁部与所述被清洁件之间的距离能够控制在预定的距离值内。 

通过在支撑体的相对两边缘上设置第二组气孔和第三组气孔，使得从第二组气孔和第三组气孔中出来的气流能够吹走停留在被清洁件边缘的灰尘等物质，进一步清洁所述被清洁件，提高所述被清洁被清洁后的清洁度。