[实用新型]防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置

权利要求书

1.防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置，包括前置组件和氨气吸收组件，所述氨气吸收组件包括膜组件、氨水储罐、换热器一、循环泵一、吸收剂入口和吸收剂出口，所述膜组件设有进气口、出气口、进水口及出水口，所述氨水储罐、循环泵一及膜组件的进水口依次相连，换热器一设于氨水储罐、循环泵一、膜组件间的任一管道上，其特征在于：该装置还包括设于前置组件与氨气吸收组件之间的预处理组件，所述预处理组件包括气液传质设备、碱性水罐、循环泵二及换热器二，所述气液传质设备包括混合气进口、混合气出口、碱性水进口及碱性水出口，所述碱性水进口、碱性水罐、循环泵二及碱性水出口顺次连接，所述换热器二内流通有热水或高温蒸汽，混合气进口与前置组件连接，混合气出口与所述换热器二进口连接，所述换热器二出口与膜组件进气口连接。

2.如权利要求1所述的防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置，其特征在于：所述前置组件包括氨气收集管道相连的风机、过滤装置、换热器三，所述风机、过滤装置、换热器三之间的连接顺序任意组合。

3.如权利要求1所述的防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置，其特征在于：所述气液传质设备为喷淋填料塔或板式塔。

4.如权利要求1所述的防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置，其特征在于：所述氨气吸收组件至少二级，第一级膜组件的进气口与前置组件相连，每一级的膜组件的出气口与下一级膜组件的进气口依次串联，最后一级膜组件的出气口直接排放，每一级的氨气吸收组件的吸收剂入口与上一级的氨气吸收组件的吸收剂出口通过吸收剂管道相连，最后一级的氨气吸收组件的吸收剂入口与最后一级的氨水储罐相连。

5.如权利要求4所述的防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置，其特征在于：每一级氨气吸收组件中吸收剂出口设于每一级氨气吸收组件的膜组件、氨水储罐、换热器一、循环泵一中任一设备后的管道上。

6.如权利要求4所述的防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置，其特征在于：每一级氨气吸收组件中吸收剂入口设于氨水储罐上或循环泵一、膜组件、换热器一中任一设备后的管道上。

7.如权利要求4所述的防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置，其特征在于：所述的氨气吸收组件为三级，且第二级膜组件出口设有一回流管道与氨水储罐连接。