[实用新型]一种对反应炉炉盖进行升降和翻转的机构有效
申请号: | 201320577197.6 | 申请日: | 2013-09-17 |
公开(公告)号: | CN203534191U | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 樊志滨;陈依新;王勇飞 | 申请(专利权)人: | 北京思捷爱普半导体设备有限公司 |
主分类号: | F27D1/18 | 分类号: | F27D1/18;C23C16/00 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 刘萍 |
地址: | 101312 北京市顺义区天竺综*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 反应炉 进行 升降 翻转 机构 | ||
1.一种对反应炉炉盖进行升降和翻转的机构,包括升降气缸(1)、安装在机罩(2)内部的伺服电机(3)、蜗轮蜗杆减速机(4),旋转轴(6)通过联轴器(7)与炉盖(8)相连接;
所述的升降气缸(1)安装在炉体(9)一侧,气缸活塞杆上端连接机罩(2),安装在机罩(2)内部的伺服电机(3)带动蜗轮蜗杆减速机(4),蜗轮蜗杆减速机(4)的旋转轴(6)通过联轴器(7)与炉盖(8)相连接;炉体(9)的两侧结构为对称布置结构;
通过气缸活塞杆的升降,机罩(2)、伺服电机(3)、蜗轮蜗杆减速机(4)连同炉盖(8)进行同时升降,并在伺服电机(3)带动下,通过蜗轮蜗杆减速机(4),将炉盖(8)进行翻转。
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