[实用新型]一种用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁

权利要求书

1.一种用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁，用于连通极紫外光刻机的第一腔室和第二腔室，并阻止清洁真空环境的第二腔室内的物质进入超清洁真空环境的第一腔室，其特征在于： 

所述动态气体锁包括一两端开口的筒身，筒身具有一宽口端和一窄口端，所述宽口端连接所述第一腔室，所述窄口端连接所述第二腔室； 

所述筒身的靠近窄口端的侧面包括多个用于向筒身内部喷气的螺旋气流喷口，该多个螺旋气流喷口所喷出的气流能够围绕筒身的中心轴进行旋转，即产生同向的螺旋气流，该螺旋气流汇聚到所述筒身的中心轴附近； 

所述筒身的靠近宽口端的侧面包括至少一个用于向筒身内部喷气的补气气流喷口，所述补气气流喷口的轴向延长线与所述筒身的中心轴的交点位于各螺旋气流喷口组的喷口在该中心轴上的投影点之间。 

2.如权利要求1所述的用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁，其特征在于：所述筒身的横截面为圆形。 

3.如权利要求1所述的用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁，其特征在于：所述多个螺旋气流喷口分成多个螺旋气流喷口组，每个螺旋气流喷口组由位于该筒身的同一横截面上的至少一个喷口组成。 

4.如权利要求3所述的用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁，其特征在于：同一螺旋气流喷口组的喷口在所述筒身的横截面上均匀分布。 

5.如权利要求3所述的用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁，其特征在于：所述各螺旋气流喷口方向均朝向筒身的内部，并且各所述螺旋气流喷口的轴向延长线与所述筒身侧面的交点处于本喷口和沿喷气方向的下一相邻喷口之间。 

6.如权利要求3所述的用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁，其特征在于：相邻螺旋气流喷口组或其在中心轴的投影点在所述筒身的中心轴方向上等间距分布。 

7.如权利要求3所述的用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁，其特征在于：所述补气气流喷口的轴向延长线与所述筒身的中心轴的交点 与最靠近所述补气气流喷口的螺旋气流喷口组的喷口在所述中心轴上的投影点重合。 

8.如权利要求1所述的用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁，其特征在于：所述补气气流喷口多于一个，并且等间距布置在所述筒身的横截面上。 

9.如权利要求1至8中任一项所述的用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁，其特征在于：各螺旋气流喷口组的喷口的喷气速度为：越远离所述窄口端的喷口的喷气速度越大。 

10.如权利要求1至8中任一项所述的用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁，其特征在于：所述气体为干燥无杂的氢气、氦气、氩气、氮气或者它们两种/多种的混合气体。