[实用新型]一种光掩模板贴膜装置

权利要求书

1.一种光掩模板贴膜装置，用于在光掩模板表面贴装保护膜，其特征在于，所述光掩模板贴膜装置至少包括：

底座；

可调支架，设于所述底座上，且所述可调支架的中心具有一容置空间；

用来放置待贴保护膜的膜片槽，设于所述容置空间内；

用于支撑光掩模板的弹性支点，设于所述可调支架上；

活动压板，压于所述光掩模板上。

2.根据权利要求1所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述底座包括支撑腿和设于所述支撑腿上的工作台。

3.根据权利要求1所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述弹性支点为压缩弹簧。

4.根据权利要求1所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述保护膜包括膜面和膜框，所述膜面粘结在膜框底部；所述膜框顶部涂有胶且与待贴膜的光掩模板对准。

5.根据权利要求1所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述活动压板包括：至少两个压条、第一压板和第二压板；所述压条固定于所述第一压板的下表面边缘；所述第二压条固定于第一压条的下表面。

6.根据权利要求5所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：每一个压条的下表面为斜面，所述斜面压于光掩模板上表面边缘的棱边上；所述斜面的倾斜角为α，0°＜α＜90°。

7.根据权利要求6所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述斜面的倾斜角α为15°。

8.根据权利要求5或6所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述压条的材料为聚四氟乙烯。

9.根据权利要求5所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述第二压板的一端设有限位部件，另一端与所述底座固定连接；所述第二压板与底座连接的一端上还设有旋转轴。

10.根据权利要求5所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述第一压板和第二压板均为合金材质。