[实用新型]一种灰阶掩模板

权利要求书

1.一种灰阶掩模板，其特征在于，包括：

基板；

设置在所述基板上的遮光层和电致变色器件；所述遮光层上设有透光区，所述电致变色器件用于控制所述遮光层上透光区的光透过率。

2.根据权利要求1所述的灰阶掩模板，其特征在于，所述电致变色器件包括第一导电层、第二导电层和电致变色层，所述第一导电层和第二导电层的材质均为透明电极材料，且分别设置在所述电致变色层的两侧面。

3.根据权利要求2所述的灰阶掩模板，其特征在于，所述遮光层上设有多个独立的透光区；所述第一导电层包括多个独立的导电电极，所述多个导电电极与所述多个透光区一一对应设置。

4.根据权利要求2所述的灰阶掩模板，其特征在于，所述电致变色层的材质为完全酰亚胺化复合薄膜材料。

5.根据权利要求1所述的灰阶掩模板，其特征在于，所述遮光层设置在所述基板上表面，且所述遮光层上表面设置有绝缘层；所述电致变色器件设置在所述绝缘层上与所述遮光层相对的另一侧表面。

6.根据权利要求1所述的灰阶掩模板，其特征在于，所述遮光层设置在所述基板的一侧表面，且所述电致变色器件设置在所述基板上与所述遮光层相对的另一侧表面。

7.根据权利要求1所述的灰阶掩模板，其特征在于，所述电致变色器件设置在所述基板上表面，且所述电致变色器件上表面设置有绝缘层；所述遮光层设置在所述绝缘层上与所述电致变色器件相对的另一侧表面。