[实用新型]一种气体干燥机

权利要求书

1.一种气体干燥机，其特征在于，包括控制装置、增压泵、第一干燥器和第二干燥器，所述第一干燥器和第二干燥器通过阀门和增压泵串联，所述第一干燥器的进气口设有与设备气体接口连接的进气管，所述进气管上设有进气阀门，所述第二干燥器的出气口设有与设备气体接口连接的排气管，所述排气管上设出气阀门，所述控制装置控制增压泵和各个阀门的启闭。

2.根据权利要求1所述的气体干燥机，其特征在于，还包括一用于与设备气体接口连接的进排气总管，所述的进气管和出气管分别与该进排气总管连接，所述进排气总管上设有进排气阀门。

3.根据权利要求2所述的气体干燥机，其特征在于，还包括压力及湿度检测器，所述压力及湿度检测器与进排气总管连接，检测进气及排气时气体的压力与湿度。

4.根据权利要求1或2或3所述的气体干燥机，其特征在于，在所述第二干燥器的出气口与出气阀门之间的出气管的管段上设一充气支管，所述充气支管与六氟化硫气源连接，在有气体损失时，向设备补充六氟化硫气体。

5.根据权利要求1或2或3所述的气体干燥机，其特征在于，第一干燥器由压力容器和填充于压力容器内的干燥剂构成，所述第一干燥器的压力容器的顶部设进气口，底部设出气口。

6.根据权利要求1或2或3所述的气体干燥机，其特征在于，所述第二干燥器由压力容器和填充于压力容器内的干燥剂构成，所述第二干燥器的压力容器的顶部设出气口，底部设进气口。

7.根据权利要求1或2或3所述的气体干燥机，其特征在于，所述干燥剂为分子筛。