[实用新型]升针机构和升举装置有效

专利信息
申请号: 201320422723.1 申请日: 2013-07-16
公开(公告)号: CN203434136U 公开(公告)日: 2014-02-12
发明(设计)人: 王福来 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 100026 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 机构 装置
【权利要求书】:

1.一种升针机构,包括导杆、升针固定套筒和升针,所述升针固定套筒的底部与所述导杆的顶部固定连接;其特征在于:

所述导杆的顶端与所述升针固定套筒的顶端之间设置有挡翼固定部;

所述挡翼固定部包括升针通道,所述升针通道从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸;

所述升针通道的侧面设置有挡翼沟槽,所述挡翼沟槽从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸至第一拐点,所述挡翼沟槽在所述第一拐点处弯折并沿所述升针固定套筒的横截面方向延伸;

所述升针通道中设置有所述升针,所述升针的顶端从所述升针固定套筒的顶端伸出,所述升针上设置有挡翼,所述挡翼位于所述挡翼沟槽中。

2.根据权利要求1所述的升针机构,其特征在于,

所述导杆的顶端与所述升针固定套筒的侧壁形成腔体,所述腔体位于所述挡翼固定部和所述导杆的顶端之间;

所述升针通道从所述升针固定套筒的顶端向底端方向连通至所述腔体;

所述升针固定套筒的腔体中设置有与所述升针固定套筒具有相同轴向的压缩弹簧;

所述升针的底端与所述压缩弹簧的顶端之间设置有弹簧挡片;

所述升针和所述压缩弹簧通过所述弹簧挡片连接。

3.根据权利要求1或2所述的升针机构,其特征在于,

所述挡翼沟槽在所述第一拐点处弯折并沿所述升针固定套筒的横截面方向延伸至第二拐点,所述挡翼沟槽在所述第二拐点处弯折并向所述升针固定套筒的顶端方向延伸至第三拐点,所述挡翼沟槽在所述第三拐点处弯折并沿所述升针固定套筒的横截面方向延伸。

4.根据权利要求1或2所述的升针机构,其特征在于,

所述升针的顶端设置有橡胶减震头。

5.根据权利要求1或2所述的升针机构,其特征在于,

所述挡翼为两个,所述两个挡翼关于所述升针的轴对称;

所述挡翼沟槽为两条,所述两条挡翼沟槽关于所述升针通道的轴对称。

6.根据权利要求1或2所述的升针机构,其特征在于,

所述升针由树脂材料制成。

7.一种升举装置,包括驱动机构、传动机构和至少三个升针机构,其特征在于,

每个升针机构为如权利要求1至6中任意一项所述的升针机构;

每个所述升针机构中的导杆通过所述传动机构连接于所述驱动机构,所述驱动机构用于通过所述传动机构驱动所述导杆带动升针运动。

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