[实用新型]影像量测装置有效

专利信息
申请号: 201320412864.5 申请日: 2013-07-11
公开(公告)号: CN203385392U 公开(公告)日: 2014-01-08
发明(设计)人: 施盈盈 申请(专利权)人: 源台精密科技股份有限公司
主分类号: G01B9/04 分类号: G01B9/04
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人: 赵郁军
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 影像 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型与影像量测装置有关,尤指一种全自动化量测及扩充性高的影像量测装置。

背景技术

常用的影像量测装置具有一可沿X轴及Y轴的水平方向位移的量测载台,以及一可沿Z轴的垂直方向位移的量测镜头,通过此三个轴向位移的相互搭配,而调整至最适合观测样本的位置。

但是上述常用装置的载台及镜头的位移调整结构是以手动方式转动转钮,通过机械传动机构控制载台及镜头的位移,这种控制方式的精度不足,无法进行极小距离的位移微调,在观测极微小尺寸的样本时会产生难以调整至最佳观测位置的困扰。

此外,常用装置的量测镜头是以一立柱悬挂于载台上方以供进行量测,然受限于立柱固定形状及尺寸使量测镜头位于载台上方的位置固定,相对载台的尺寸也受限,如此一来,同一机台上无法适用不同尺寸的载台,其扩充性非常不足。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种影像量测装置,其运用一控制装置来控制载台及量测镜组的X、Y、Z轴自动移动及控制量测镜组自动选择所需的镜头及光源,再搭配量测单元而达到全自动化的量测,使量测作业更加快速与简便,更可提高量测的精准度。

本实用新型的另一目的在于,该量测镜组可因应载台尺寸的不同而改变与立柱间的距离,使同一机台可适用多种不同尺寸的载台,可增加其扩充性,以降低成本。

为达前述目的,本实用新型采用以下技术方案:

一种影像量测装置,其包括有一基座、一用以置放量测物件的载台、一立柱、一量测镜组及一控制装置,其中:

该载台设于该基座上,且该载台设有一第一移动件及一第二移动件,此二移动件用以控制该载台于该基座上分别沿两个界定相互垂直的X轴及Y轴方向移动;

该立柱设于该基座上且位于该载台一侧,该立柱设有一第三移动件,其可沿该立柱界定为Z轴的高度方向移动;

该量测镜组设于该第三移动件上而伸至该载台的上方,且可随该第三移动件位移,该量测镜组包括有一可转动的鼻轮及一光源,其中该鼻轮上设有数个不同倍率的接物显微镜,而该光源可提供接物显微镜量测时所需的光度;

该控制装置分别与该第一、第二、第三移动件及该鼻轮与该光源电性连接,该控制装置具有一控制单元,而可供控制该第一及第二移动件的位移以改变该载台的位置,以及可供控制该第三移动件的位移以改变该量测镜组的位置,以及可供控制该鼻轮的转动以切换不同倍率的接物显微镜,以及可供控制该光源提供不同强度的光。

更进一步地,该控制装置为一电脑,且该电脑中还设有一量测单元,而与该控制单元搭配以达全自动化的量测。

更进一步地,该量测镜组还设有一影像撷取装置。

更进一步地,该第三移动件与该量测镜组之间还设有至少一个可选择拆卸的连接件。

更进一步地,该立柱与该第三移动件之间还设有至少一个可选择拆卸的扩充件。

本实用新型的优点在于:

本实用新型的影像量测装置,运用控制装置控制载台及量测镜组的X、Y、Z轴自动移动及控制量测镜组自动选择所需的镜头及光源,再搭配量测单元而达到全自动化的量测,使量测作业更加快速与简便,更可提高量测的精准度。

附图说明

图1为本实用新型的立体示意图。

图2为本实用新型的平面示意图。

图3为本实用新型另一个使用状态的平面示意图。

具体实施方式

请参阅图1及图2,其为本实用新型所提供的影像量测装置,其包括有一用以置放量测物件的载台1、一立柱2、一量测镜组3及一控制装置(图中未示),其中载台1设于一基座11上,基座11固定于一落地的工作桌12上,而相对于基座11界定有三个呈两两垂直的轴向,分别为处于同一水平面的X轴及Y轴,以及同时垂直于X轴及Y轴向的Z轴;据此,载台1设有一第一移动件13及一第二移动件14,该第一移动件13用以带动载台1于基座11上沿X轴方向移动,第二移动件14用以带动载台1于基座11上沿Y轴方向移动。

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