[实用新型]一种频率和品质因数可调的微机械谐振器

权利要求书

1.一种频率和品质因数可调的微机械谐振器，包括玻璃基座，键合在玻璃基座上的机械结构层，与溅射在玻璃基座上作为信号引线的金电极层，其特征在于，所述机械结构层包括：矩形框架结构的质量块、沿垂直方向对称分布在所述质量块两边的两个驱动梳齿、两个驱动信号检测梳齿、两个品质因数调谐梳齿，沿水平方向对称分布在所述质量块两边的两个谐振频率调节梳齿；

所述矩形框架结构的质量块中，两条垂直边外边缘上有均匀分布的梳齿，两条水平边内边缘上有均匀分布的梳齿；

所述每个驱动梳齿与所述质量块垂直边外边缘上的梳齿构成一个驱动梳齿对，所述每个驱动信号检测梳齿与所述质量块垂直边外边缘上的梳齿构成一个驱动信号检测梳齿对，所述每个品质因数调谐梳齿与质量块垂直边外边缘上的梳齿构成一个品质因数调谐梳齿对，所述每个谐振频率调节梳齿与质量块水平边内边缘上的梳齿构成一个谐振频率调节梳齿对。

2.根据权利要求1所述的一种频率和品质因数可调的微机械谐振器的外围电路，其特征在于，包括振动位移检测电路、驱动信号调节电路、振动速度检测电路、品质因数差分调节电路，其中：

所述振动位移检测电路的两个输入通道分别与两个驱动信号检测梳齿的电极连接；

所述驱动信号调节电路输入端接所述振动位移检测电路输出端，所述驱动信号调节电路的两个输出通道分别与所述两个驱动信号检测梳齿的电极连接；

所述振动速度检测电路输入端与所述振动位移检测检测电路输出端连接；

所述品质因数差分调节电路输入端接所述振动速度检测电路输出端，所述品质因数差分调节电路的两个输出通道分别与所述两个品质因数调谐梳齿的电极连接。