[实用新型]玻璃表面刻蚀装置

说明书

技术领域

本实用新型属于平板玻璃制造领域，具体涉及一种玻璃表面刻蚀装置。

背景技术

通过熔融工艺制造的玻璃片具有非常光滑的表面，在生产过程中不会对在玻璃片上将要设置的显示元件（例如薄膜晶体管和滤光片等）主表面造成伤害。工作人员发现，在实际中越光滑的表面越容易在加工过程中产生静电，而对玻璃表面进行刻蚀以降低其光滑度可以降低静电发生的可能性，因此，可以在不影响玻璃光学特性的前提下对玻璃进行蚀刻。现有技术中虽然也有用于玻璃表面刻蚀的装置，但是由于该装置只能在真空环境下应用，操作环境要求严格，且仅适用几十平方厘米的光伏玻璃片的蚀刻，不能适用于大面积的普通玻璃板的蚀刻。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供了一种玻璃表面蚀刻装置，该装置在普通玻璃片生产线上使用，且能够对大面积普通玻璃片进行蚀刻。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：包括玻璃输送装置、蚀刻气体发生装置以及至少一组由非接触式蚀刻箱体单元和背部盖板组成的刻蚀主体，所述的玻璃输送装置位于非接触式蚀刻箱体单元和背部盖板之间；非接触式蚀刻箱体单元内设置有蚀刻气体输入管道，蚀刻气体发生装置的蚀刻气体输出口与蚀刻气体输入管道相连通，在蚀刻气体输入管道上接有喷射刻蚀气体的喷嘴。

所述的蚀刻气体输入管道在非接触式蚀刻箱体单元上布置的方向与玻璃片传送的方向垂直。

所述的蚀刻气体输入管道的两侧分别设有一个安装有线型抽风口的出风管道，出风管道设置在非接触式蚀刻箱体单元内。

所述的蚀刻气体输入管道和出风管道平行设置在非接触式蚀刻箱体单元内，且出风管道的一端与外界相通。

所述的喷嘴为一个或多个，当喷嘴为一个时，喷嘴为线型喷嘴。

所述的玻璃输送装置由设置在刻蚀主体两端的若干组驱动滚轮以及用于对玻璃片起支撑过渡作用的若干组无动力驱动小轮组成，且每组刻蚀主体中的非接触式蚀刻箱体单元布置在玻璃输送装置下方时，若干组无动力驱动小轮设置在非接触式蚀刻箱体单元上；每组刻蚀主体中的非接触式蚀刻箱体单元布置在玻璃输送装置上方时，若干组无动力驱动小轮设置在背部盖板上。

所述的刻蚀主体中的非接触式蚀刻箱体单元布置在玻璃输送装置下方或玻璃输送装置上方。

所述的背部盖板内部安装有加热系统。

所述的蚀刻气体发生装置为一组或多组等离子发生器，且等离子发生器的刻蚀气体输出口与刻蚀主体中的非接触式蚀刻箱体单元中的蚀刻气体输入管道相连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

本实用新型在非接触式蚀刻箱体单元内设置与蚀刻气体输出口相连通的蚀刻气体输入管道，该蚀刻气体输入管道上开设有接有喷射刻蚀气体以刻蚀玻璃片的喷嘴；因此，当一定比例的四氟化碳气体和水蒸气通过蚀刻气体发生装置后产生的蚀刻气体进入非接触式蚀刻箱体单元内的蚀刻气体输入管道，并通过接在蚀刻气体输入管道的喷嘴喷出，而位于非接触式蚀刻箱体单元和背部盖板之间的玻璃输送装置上安放有正在传送的玻璃片，蚀刻气体喷到正在传送的玻璃片，从而实现玻璃片一个表面的蚀刻；同时由于喷嘴能够覆盖玻璃片，所以本实用新型能够在普通玻璃片生产线上使用，且能够对大面积普通玻璃片进行蚀刻。

附图说明

图1是四氟化碳和水气经过等离子化后生成用于酸气刻蚀的HF和CO₂气体混合物的示意图。

图2是常压下玻璃表面蚀刻装置对运动玻璃片上表面的刻蚀示意图的主视图；

图3是常压下玻璃表面蚀刻装置对运动玻璃片上表面的刻蚀示意图的俯视图；

图4是常压下玻璃表面刻蚀装置对运动玻璃片下表面的刻蚀示意图的主视图；

其中，1、非接触式蚀刻箱体单元，2、驱动滚轮，3、线型喷嘴，4、线型抽风口，5、无动力驱动小轮，6、蚀刻气体输入管道，7、背部盖板，8、出风管道，9、玻璃片。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步详细说明。