[实用新型]玻璃表面刻蚀装置

权利要求书

1.玻璃表面刻蚀装置，其特征在于：包括玻璃输送装置、蚀刻气体发生装置以及至少一组由非接触式蚀刻箱体单元（1）和背部盖板（7）组成的刻蚀主体，所述的玻璃输送装置位于非接触式蚀刻箱体单元（1）和背部盖板（7）之间；非接触式蚀刻箱体单元（1）内设置有蚀刻气体输入管道（6），蚀刻气体发生装置的蚀刻气体输出口与蚀刻气体输入管道（6）相连通，在蚀刻气体输入管道（6）上接有喷射刻蚀气体的喷嘴。

2.根据权利要求1所述的玻璃表面刻蚀装置，其特征在于：所述的蚀刻气体输入管道（6）在非接触式蚀刻箱体单元（1）上布置的方向与玻璃片（9）传送的方向垂直。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃表面刻蚀装置，其特征在于：所述的蚀刻气体输入管道（6）的两侧分别设有一个安装有线型抽风口（4）的出风管道（8），出风管道（8）设置在非接触式蚀刻箱体单元（1）内，且出风管道（8）的一端与外界相通。

4.根据权利要求3所述的玻璃表面刻蚀装置，其特征在于：所述的蚀刻气体输入管道（6）和出风管道（8）平行设置在非接触式蚀刻箱体单元（1）内。

5.根据权利要求1所述的玻璃表面刻蚀装置，其特征在于：所述的喷嘴为一个或多个，当喷嘴为一个时，喷嘴为线型喷嘴（3）。

6.根据权利要求5所述的玻璃表面刻蚀装置，其特征在于：所述的玻璃输送装置由设置在刻蚀主体两端的若干组驱动滚轮（2）以及用于对玻璃片（9）起支撑过渡作用的若干组无动力驱动小轮（5）组成，且每组刻蚀主体中的非接触式蚀刻箱体单元（1）布置在玻璃输送装置下方时，若干组无动力驱动小轮（5）设置在非接触式蚀刻箱体单元（1）上；每组刻蚀主体中的非接触式蚀刻箱体单元（1）布置在玻璃输送装置上方时，若干组无动力驱动小轮（5）设置在背部盖板（7）上。

7.根据权利要求1所述的玻璃表面刻蚀装置，其特征在于：所述的刻蚀主体中的非接触式蚀刻箱体单元（1）布置在玻璃输送装置下方或玻璃输送装置上方。

8.根据权利要求1所述的玻璃表面刻蚀装置，其特征在于：所述的背部盖板（7）内部安装有加热系统。

9.根据权利要求1所述的玻璃表面刻蚀装置，其特征在于：所述的蚀刻气体发生装置为一组或多组等离子发生器，且等离子发生器的刻蚀气体输出口与刻蚀主体中的非接触式蚀刻箱体单元（1）中的蚀刻气体输入管道（6）相连通。