[实用新型]一种蒸镀源

说明书

技术领域

本实用新型属于蒸镀技术领域，具体涉及一种蒸镀源。 

背景技术

目前的OLED制造、薄膜电池制造、镀膜等加工工艺中，普遍采用热蒸镀源加热材料的形式进行镀膜。热蒸镀源主要由蒸发舟和加热电阻丝组成，蒸发舟用来装蒸镀材料，采用不锈钢、氮化硼、硅、石英等材料制成，形状以圆柱形、圆锥形为主，蒸发舟外缠绕固定的加热电阻丝，对电阻丝通电发热传导蒸发舟发热实现材料的蒸发，完成镀膜。 

蒸镀时蒸镀源中蒸发舟的工作温度高达350摄氏度以上，高得能到达到800摄氏度，传统的蒸镀源采用固定容器的设计模式，当一阶段蒸镀完成想要停止蒸镀时，只能采用自然冷却法。由于蒸镀源的工作环境是真空状态，这样就需要很长时间的冷却过程，而材料在一定温度下还在保持蒸发状态，在缓慢的冷却过程中，材料不断的蒸发，造成材料浪费。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中蒸镀源蒸镀停止时冷却时间过长、浪费有机材料且容易导致有机材料变质等问题，提出的一种新型蒸镀源。 

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案： 

一种蒸镀源，包括蒸镀舟和缠绕在蒸镀舟外部的加热电阻丝，该蒸镀源还包括冷却管、活动底板和升降机构，所述冷却管缠绕在蒸镀舟的外部且不与加热电阻丝重合，所述活动底板连接升降机构并在升降机构的作用下沿蒸镀舟内壁上下运动。 

进一步地，所述蒸镀舟的形状为圆筒形。 

进一步地，所示升降机构为电机驱动的螺杆结构。 

与现有技术相比，本实用新型所述蒸镀源通过活动底板位置的变化改变蒸镀材料的位置实现蒸镀材料的快速降温：蒸镀时，蒸镀材料位于电阻丝加热区受热蒸发进行蒸镀；蒸镀停止时，蒸镀材料能够迅速离开电阻丝加热区，并进入所设置的冷却管冷却区，通过冷却循环液使材料迅速降温，避免被蒸镀材料变质和浪费。 

附图说明

图1为本实用新型实施例中的蒸镀源的结构示意图； 

图2为本实用新型实施例中的蒸镀源的蒸镀舟的横截面示意图。 

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。 

如图1、图2所示，本实施例中的蒸镀源包括形状为圆筒形的蒸镀舟1和缠绕在蒸镀舟1外部的加热电阻丝2，还包括冷却管3、活动底板4和升降机构5，冷却管3缠绕在蒸镀舟1的外部且不与加热电阻丝2重合，活动底板4连接升降机构5并在升降机构5的作用下沿蒸镀舟1内壁上下运动。 

当需要进行蒸镀时，蒸镀材料6放置于活动底板4上，打开加热电阻丝2的控制电源使电阻丝2升温对蒸镀舟1进行加热，然后，升降机构5带动活动底板4和蒸镀材料6运动至蒸镀舟1缠有加热电阻丝2的区域内，蒸镀材料6受热蒸发实现蒸镀；当需要停止蒸镀时，打开冷却管3中循环冷却液，升降机构5带动活动底板4和蒸镀材料6迅速运动至蒸镀舟1缠有冷却管3的区域内，蒸镀材料6一方面远离加热电阻丝2不再受热而蒸发，另一方面内部的热量被冷却循环液带走，实现迅速冷却，避免了蒸镀材料6的变质和浪费。 

简便起见，本实用新型的升降机构5为电机驱动的螺杆结构，也可以为其他结构的升降机构。 

本实施例中加热电阻丝和冷却管的相对位置可以互换，并不局限于图示情况。 

本实施例中蒸镀舟1的形状也不局限于圆筒形，根据使用要求也可以为矩形筒等。 

尽管这里参照本实用新型的最佳解释性实施例对本实用新型进行了描述，但是，应该理解，本领域技术人员可以设计出很多其他的修改和实施方式，这些修改和实施方式将落在本申请公开的原则范围和精神之内。更具体地说，在本申请公开、附图和权利要求的范围内，可以对主题组合布局的组成部件和/或布局进行多种变型和改进。除了对组成部件和/或布局进行的变型和改进外，对于本领域技术人员来说，其他的用途也将是明显的。