[实用新型]一种蒸镀源有效
申请号: | 201320367636.0 | 申请日: | 2013-06-25 |
公开(公告)号: | CN203284453U | 公开(公告)日: | 2013-11-13 |
发明(设计)人: | 唐元刚 | 申请(专利权)人: | 四川虹视显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 周永宏 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蒸镀源 | ||
【权利要求书】:
1.一种蒸镀源,包括蒸镀舟和缠绕在蒸镀舟外部的加热电阻丝,其特征在于:该蒸镀源还包括冷却管、活动底板和升降机构,所述冷却管缠绕在蒸镀舟的外部且不与加热电阻丝重合,所述活动底板连接升降机构并在升降机构的作用下沿蒸镀舟内壁上下运动。
2.根据权利要求1所述的蒸镀源,其特征在于:所述蒸镀舟的形状为圆筒形。
3.根据权利要求1所述的蒸镀源,其特征在于:所述升降机构为电机驱动的螺杆结构。
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