[实用新型]一种真空镀膜机门阀结构有效

专利信息
申请号: 201320361544.1 申请日: 2013-06-24
公开(公告)号: CN203309144U 公开(公告)日: 2013-11-27
发明(设计)人: 薛辉;昌江 申请(专利权)人: 芜湖真空科技有限公司
主分类号: F16K1/18 分类号: F16K1/18;F16K1/32
代理公司: 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 代理人: 马荣
地址: 241009 安徽省芜湖市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 机门 结构
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及真空镀膜机技术领域,特别涉及一种真空镀膜机门阀结构。

背景技术

传统的镀膜设备门阀部分的传动轴为直轴通过联轴器与电机相连接,此种连接方式的缺陷在于当阀板与阀体做分离动作时,由于阀板的内部处于真空状态,外部处于大气层状态,此时阀板与阀体会产生吸附作用,产生一定的吸附力,此时驱动电机需克服这一吸附力才能将阀板打开,即电机启动瞬间将带有很大的负载启动。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是,针对现有技术的不足,提供一种真空镀膜机门阀结构,以达到克服阀板与阀体之间的吸附力作用、避免了电机在带有很大负载状态下启动的目的。

为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:一种真空镀膜机门阀结构,包括由电机带动的转轴、阀体、阀板,所述的阀体内设有通电吸附阀板的电磁线圈,所述的阀板两端分别连接在转轴上,所述的转轴在自然状态下弯曲,所述的转轴在阀板关闭阀体的状态下拉直。

所述的电机通过联轴器与转轴连接。

所述的转轴底部设有底座。

所述的阀板通过螺栓与转轴连接。

本实用新型采用上述结构,具有以下优点:1、克服阀板与阀体之间的吸附力作用。通过弯轴作为传动轴,克服这一吸附力,避免了电机在带有很大负载状态下启动;2、结构简单,不需要增加机构。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明;

图1为本实用新型中门阀机构关闭状态的结构示意图;

图2为本实用新型中门阀机构打开状态的结构示意图;

图3为本实用新型中门阀机构关闭状态的主视图;

图4为本实用新型中转轴弯曲/拉直的状态结构图;

在图1~图4中,1、电机;2、联轴器;3、转轴;4、阀板;5、阀体;6、底座。

具体实施方式

本实用新型为一种真空镀膜机门阀结构,包括由电机1带动的转轴3、阀体5、阀板4,阀体5内设有通电吸附阀板4的电磁线圈,阀板4两端分别连接在转轴3上,转轴3在自然状态下弯曲,转轴3在阀板4关闭阀体5的状态下拉直。

电机1通过联轴器2与转轴3连接。当驱动电机1执行动作时候,转轴3将带动门阀部分进行工作。转轴3上下部分与轴承相互配合连接,以保证转轴3的固定。转轴3底部设有底座6。阀板4通过螺栓与转轴3连接。

如图1、图3所示,当门阀部分需要处于闭合状态时候,驱动电机1将带动弯轴3进行旋转,即带动阀板4转动将阀体5关闭。当阀板4到达指定位置,此时阀体5的电磁铁部分得电,并将阀板4牢牢吸附于阀体5上,而阀板4与弯轴3是连接为一体,所以弯轴3在电磁力的作用下由弯曲状态变形为垂直状态。

如图2所示,当门阀部分需要处于打开状态时,阀体5内的电磁铁将失电,当电磁铁失电后,弯轴4在其内应力的作用下,将从垂直状态恢复至弯曲状态,通过这一动作,使得阀板破真空成功,驱动电机1将带动弯轴4将门阀部分打开。

如图4中所示,此时门阀机构是未完全闭合状态,其中A处为阀板4与阀体之间的最大间距2mm,即弯轴为弯曲之前与弯曲之后的最大间距为2mm。

上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述,显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制,只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种改进,或未经改进直接应用于其它场合的,均在本实用新型的保护范围之内。

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