[实用新型]高压功率器件用极厚外延片有效
| 申请号： | 201320347279.1 | 申请日： | 2013-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN203377215U | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 王浩;邹崇生 | 申请（专利权）人： | 上海晶盟硅材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201707 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高压 功率 器件 用极厚 外延 | ||
【权利要求书】：
1.高压功率器件用极厚外延片，包括衬底和外延层，其特征在于，所述衬底为6寸以上，所述外延层厚度为100μm以上；所述外延层的厚度非均匀性小于等于5%；所述外延层的电阻非均匀性小于等于5%。
2.根据权利要求1所述的高压功率器件用极厚外延片，其特征在于，所述衬底为6寸或8寸。
3.根据权利要求1所述的高压功率器件用极厚外延片，其特征在于，所述外延层厚度为100μm-199μm。
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