[实用新型]微机电系统麦克风

权利要求书

1.一种微机电系统MEMS麦克风，其特征在于，包括：

接线板；

与所述接线板结合的外壳，所述外壳与所述接线板限定所述MEMS麦克风的内腔体；

位于所述外壳上的音孔；

固定于所述接线板上的专用集成电路ASIC，所述ASIC通过金线和所述接线板电连接；

位于所述内腔体、固定于所述接线板上的MEMS芯片；

位于所述内腔体外、固定于所述接线板上的外扩展腔体，所述外扩展腔体与所述MEMS芯片的背腔通过所述接线板上的通孔连通。

2.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，所述MEMS芯片通过密封胶粘接到所述接线板上，形成所述MEMS芯片的背腔；所述接线板的通孔与所述MEMS芯片的背腔相通。

3.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，还包括：

位于所述MEMS芯片和所述接线板之间的背腔内扩展腔体，所述背腔内扩展腔体与所述接线板的通孔连通。

4.根据权利要求3所述的麦克风，其特征在于，所述MEMS芯片和所述背腔内扩展腔体通过密封胶粘接，所述背腔内扩展腔体通过密封胶粘接到所述接线板上。

5.根据权利要求3所述的麦克风，其特征在于，所述背腔内扩展腔体的横截面为长方形或圆形。

6.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，所述MEMS芯片和所述ASIC通过金线电连接。

7.一种微机电系统MEMS麦克风，其特征在于，包括：

接线板；

与所述接线板结合的外壳，所述外壳与所述接线板限定所述MEMS麦克风的内腔体；

位于所述外壳上的音孔；

固定于所述接线板上的专用集成电路ASIC，所述ASIC通过金线和所述接线板电连接；

位于所述内腔体、固定于所述接线板上的背腔内扩展腔体；

位于所述内腔体、固定于所述接线板上的MEMS芯片，所述MEMS芯片粘贴到所述背腔内扩展腔体上。

8.根据权利要求7所述的麦克风，其特征在于，还包括：

在所述接线板上形成的凹进；所述凹进与所述背腔内扩展腔体连通。

9.根据权利要求7或8所述的麦克风，其特征在于，所述MEMS芯片和所述背腔内扩展腔体通过密封胶粘接，所述背腔内扩展腔体通过密封胶粘接到所述接线板上。

10.根据权利要求7或8所述的麦克风，其特征在于，所述背腔内扩展腔体的横截面为长方形或圆形。

11.一种微机电系统MEMS麦克风，其特征在于，包括：

接线板；

与所述接线板结合的外壳，所述外壳与所述接线板限定所述MEMS麦克风的内腔体；

位于所述外壳上的音孔；

固定于所述接线板上的专用集成电路ASIC，所述ASIC通过金线和所述接线板电连接；

位于所述内腔体、固定于所述接线板上的MEMS芯片；

在所述接线板上形成的凹进；所述凹进与所述MEMS芯片的背腔连通。