[实用新型]真空箱体充气缓冲器及真空镀膜箱

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空箱体充气缓冲器及真空镀膜箱。

背景技术

目前真空镀膜设备无论是连续线或是单体机在镀膜工作过程中，都是处在真空的条件下进行，但是在设备检修、换靶或者被镀材料生产准备的环节中，真空镀膜设备又是在常规大气压的条件下进行；因此，设备经常需要在常规大气条件与真空条件之间通过充放气过程进行转换。目前较为常用的充气方式有两种：1、通过设备上开设的真空充气阀直接向真空腔内冲入洁净空气或者氮气；2、通过真空充气阀将空气充入开设有很多小孔的一个充气管，空气再从小孔进入真空腔内。

但是，在上述做法中，会产生“掉片”和“起灰”的问题：1、通过真空充气阀直接向真空腔体内，在充气时，因为真空腔体内真空度较高，对从外界进入的气流会有很强的吸力，气流被高速地吸入真空腔体内会产生很强的噪音；而且因为气流流速非常高，会搅动真空腔体内的灰尘、渣滓从而污染被镀的产品；另外由于气流流速过高，冲击力很大，对被镀膜的基材产品的表面造成划伤或者损伤。2、采用真空充气管方式进行充气，也仍然不能避免上述问题，而且由于充气管上的气孔孔径更小，而更容易进一步增加气流流速，也经常出现上述问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是弥补现有真空镀膜箱充气过程产生“掉片”和“起灰”的缺陷，提供一种在充气过程中不产生“掉片”和“起灰”的真空箱体充气缓冲器和具有该真空箱体充气缓冲器的镀膜箱。

为实现上述目的，本实用新型提供一种真空箱体充气缓冲器，包括带有进气口的管体，所述管体上设有多个排气通孔，该排气通孔上还安装有消音器；

所述消音器为带有多筛滤芯的金属消音器；

充入真空箱体的气体先经进气口进入所述管体，再经所述排气通孔上安装的多筛滤芯的金属消音器缓冲、消音之后充入真空箱体内。

优选地，所述消音器为带有多筛滤芯的金属消音器。

优选地，所述排气通孔为锥管螺纹孔。

优选地，所述锥管螺纹孔的直径为1/4英寸。

优选地，所述真空箱体上设有充气阀，该充气阀包括位于箱体外的空气入口和位于箱体内的空气出口；

所述真空箱体充气缓冲器还包括安装在所述管体上的接头；该接头一端与所述管体的进气口的连通，另一端与所述充气阀的空气出口连通。

优选地，所述管体的管壁厚度为2-4mm。

优选地，所述排气通孔在所述管体上平行等距排列，相邻所述排气通孔之间的间距为35-45mm。

本实用新型进一步提出一种真空镀膜箱，包括箱体和设置在该箱体上用于向所述箱体内充气的充气阀，该充气阀包括位于所述箱体外的空气入口和位于所述箱体内的空气出口；所述真空镀膜箱还包括充气缓冲器；

所述充气缓冲器，包括带有进气口的管体，所述管体上设有多个排气通孔，该排气通孔上还安装有消音器；所述消音器为带有多筛滤芯的金属消音器；

所述管体的进气口与充气阀的空气出口连接。

采用本实用新型的真空箱体充气缓冲器和真空镀膜箱，在充气缓冲器的管体上开设有多个平行等距规则排列的排气通孔，排气通孔上安装有消音器，当向真空箱体内充空气时，冲入的空气首先进入不锈钢管体进气口，再通过装有消音器的排气通孔进入真空箱体内。消音器首先能降低高速气流从排气通孔穿过时产生的高频噪音，而且消音器本身还能对高速气流有缓冲阻挡作用，进一步能降低气流的流速，保证气体能低速柔和的进入真空箱体内，从而不会因为冲力过大造成对被镀膜的基材产品的表面造成划伤或者损伤，也能避免搅动真空腔体内的灰尘、渣滓从而污染被镀的产品，有效的解决在生产线充气过程中产生的“掉片”“起灰”的问题。

附图说明

图1为本实用新型真空箱体充气缓冲器的结构示意图；

图2为图1中管体结构示意图；

图3为本实用新型真空镀膜箱的结构示意图。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行完整的描述，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得其它实施例，均属于本发明保护范围。

本实用新型提供一种真空箱体充气缓冲器。