[实用新型]一种电子枪坩埚的冷却装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电子枪坩埚的冷却装置。

背景技术

目前，镀膜机已经被广泛应用，制镀薄膜尤其广泛，其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中。在镀膜机工作过程中，处在真空（空气极其稀薄）中的电子枪产生高能电子会使坩埚内温度升至700～3600℃，如此高的温度会使坩埚熔化而被破坏，为了避免这类情况发生，有效地冷却坩埚是一项关键技术。现有技术的采用如图1、2所示结构，冷却水水流沿坩埚1外壁和水套2的进水口21进入，沿外套2之间的空腔3之间旋转一周后经出水口22流出。但这种冷却结构存在的问题是：坩埚只有侧壁有冷却水，而下方无冷却水，坩埚的冷却不充分。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种电子枪坩埚的冷却装置，能使坩埚底部充分冷却，解决目前通过外壁上设置水套冷却的电子枪坩埚底部冷却不充分问题。

解决上述技术问题的技术方案如下：

本实用新型实施例提供一种电子枪坩埚的冷却装置，包括：

圆筒状本体，其上端开口，开口内设有容置电子枪坩埚的空间；

所述圆筒状本体上设有连通圆筒状本体内外的两个透水孔；

所述圆筒状本体内沿侧壁设有弧形通道，所述弧形通道的一端口与一个所述透水孔连通；

所述弧形通道的另一端口与所述圆筒状本体内底板上设置的折弯通道一端连接；

所述折弯通道的另一端与另一个所述透水孔连通。

本实用新型的有益效果：由于沿侧壁设有弧形通道，并且该弧形通道与底板上的折弯通道连通，从而在圆筒状本体内的侧壁和底板上均设有冷却用通道，从而在保证对坩埚的侧壁冷却的同时，对其底部也可以进行充分冷却，很好的解决了目前通过外壁上设置水套冷却的电子枪坩埚底部冷却不充分问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为现有技术的电子枪坩埚的冷却装置示意图；

图2为现有技术的电子枪坩埚的冷却装置俯视图；

图3为本实用新型实施例提供的电子枪坩埚的冷却装置示意图；

图4为本实用新型实施例提供的电子枪坩埚的冷却装置俯视图。

具体实施方式

下面对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。

本实用新型实施例提供一种电子枪坩埚的冷却装置，如图3、4所示，该装置包括：圆筒状本体31，其上端开口32，开口32内设有容置电子枪坩埚的空间，电子枪坩埚可以座在所述圆筒状本体31内；

在圆筒状本体31上设有连通圆筒状本体内外的两个透水孔35、36，可以作为进、出水孔；

在圆筒状本体内沿侧壁设有弧形通道33，弧形通道33环绕内侧壁设置，弧形通道33的一端口与一个透水孔35连通；弧形通道的另一端口与圆筒状本体31内底板上设置的折弯通道34一端连接，折弯通道34的另一端与另一个透水孔36连通。这样弧形通道33与折弯通道34与两个透水孔配合，在圆筒状本体形成一条整体的通道，该通道形成沿侧壁走向的高位置通道，和沿底板走向的低位置通道，当圆筒状本体内装入电子枪坩埚后，高位置通道可以为电子枪坩埚的侧壁提供冷却，低位置通道可为电子枪坩埚的低部提供冷却。

上述冷却装置中，弧形通道33由设置在圆筒状本体31内侧壁和底板上的第一肋板37与所述侧壁配合构成；

所述第一肋板37由竖直肋板371和具有开口的弧形肋板372连接而成，竖直肋板371竖直设置在圆筒状本体31内的侧壁上，竖直肋板371的底端与设置在圆筒状本体31内的底板上的具有开口的弧形肋板372一端连接。

上述冷却装置中，折弯通道33由设置在圆筒状本体31内侧壁上的第二肋板38与第一肋板37配合构成；