[实用新型]一种薄膜衬底清洗装置

权利要求书

1.一种薄膜衬底清洗装置，包括基座（1）和基座盖（5），所述基座盖（5）布置若干筛孔（6），所述基座盖（5）由其上设置的提杆（7）与基座（1）可拆卸连接，其特征在于：基座（1）下表面向上凹进形成底槽（2），所述底槽（2）与基座上表面开有若干圆通孔（3），且在基座下边缘设置有开口。 

2.如权利要求1所述的薄膜衬底清洗装置，其特征在于：所述圆通孔（3）的尺寸为上圆面与侧边的夹角在35°－75°之间，圆台下端开口直径4-8mm，上端开口直径10-20mm。 

3.如权利要求1所述的薄膜衬底清洗装置，其特征在于：所述提杆（7）贯穿基座盖（5）中心在其下端形成提杆螺纹接头（8）与基座（1）上对应的基座螺纹孔（9）形成螺纹连接。 

4.如权利要求1-3中任一权利要求所述的薄膜衬底清洗装置，其特征在于：所述基座（1）和基座盖（5）的制备材料为耐腐蚀材料。