[实用新型]曝光机有效
| 申请号： | 201320209239.0 | 申请日： | 2013-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN203217248U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 余学权;徐先华;张力舟;刘志;贾富强;胡青松;刘甲甲 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/185 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 230011 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光 | ||
【权利要求书】：
1.一种曝光机，包括光源装置、支架和设置在支架上的反射镜，其特征在于，在所述支架与所述反射镜之间设置有至少一个调节机构，调节机构可向前推或向后拉反射镜的局部结构，以调节反射镜相应部分的曲率。
2.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述调节机构有一个并对应于反射镜中部位置，所述反射镜于所述调节机构周围至少有两处与支架连接。
3.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述调节机构有多个，其中一个为对应于反射镜中部位置的中部调节机构，其他所述调节机构对应位于该中部调节机构周围。
4.如权利要求1、2或3所述的曝光机，其特征在于，所述调节机构为具有定子和动子的线性马达，其中的定子固定于支架上，动子可向前推或向后拉反射镜的局部结构。
5.如权利要求1、2或3所述的曝光机，其特征在于，还包括用于检测曝光误差的检查单元。
6.如权利5要求所述的曝光机，其特征在于，还包括控制单元，所述检查单元可将检测到的曝光误差信息反馈给控制单元，所述控制单元可根据所述曝光误差信息控制所述调节机构向前推或向后拉反射镜的局部结构。
7.如权利要求6所述的曝光机，其特征在于，所述检查单元为光学测量装置。
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