[实用新型]一种新型晶体生长炉加热器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶体生产工具，尤其是一种新型晶体生长炉加热器。

背景技术

人造蓝宝石晶体的晶体硬度很高，为莫氏硬度9级，仅次于金刚石，具有很好的透光性，热传导性和电气绝缘性，力学机械性能好。人造蓝宝石晶体作为一种重要的技术晶体，已广泛地应用于科学技术、国防与民用工业、电子技术的许多领域。

长晶坩埚是目前生产蓝宝石晶体的主要工具，现有蓝宝石晶体生长炉的加热器一般采用电阻加热和感应加热，其中属于电阻加热主要有泡生法的鸟笼状加热器、热交换法的网状加热器以及筒状加热器，感应加热方式主要有坩埚下降法的中频感应加热等。其中鸟笼状和筒状加热器有一个共同的缺点，即整个加热器为一个整体，长时间使用变形后更换成本较高。而网状加热器而容易变形，长晶一轮后基本都会发生不同程度的变形，导致加热温度不均，造成化料时籽晶熔接不对称，引起复杂的晶体缺陷，而且在退火时会引起晶体开裂。最后中频感应加热器不适用于大直径蓝宝石晶体生长。综合几乎所有加热器都有一个共同缺点：维护更换成本较高。

发明内容

发明目的：针对现有技术的不足，申请人经过长期的实践探索，设计了一种新型晶体生长炉加热器。

技术方案：为了实现上述发明目的，本实用新型所采用的技术方案为：一种新型晶体生长炉加热器，包括12个电极和若干条状钨杆，其中6个电极围成环状形成上端面，另外6个电极围成环状形成与上端面形状相同的下端面，在所述上端面与下端面之间纵向设置条状钨杆。

每个条状钨杆与上、下端面的电极之间使用紧固螺栓连接。所述条状钨杆呈均匀分布，这样就能使本装置加热更加均匀。

每相邻的2个围成所述上端面的电极为一组，这样就形成了三组电极。本装置使用三相电源，所述电极通过电源连接部与三相电源连接。

有益效果：本实用新型与现有技术相比，其有益效果是：

1、本实用新型采用多个条状钨杆组成，呈均匀分布，使得加热更加均匀和对称，并且可以保持由下到上、由中心到边缘温度逐渐升高的一个稳定的对称的热场，从而保证长晶的质量；

2、本装置的维护更新成本低，由于加热器是由多个单独条状钨杆分别固定在上下的电极上，任一条状钨杆发生变形，都可以单独更换，不需要更换整个加热器，因此更换成本更低，操作也更加简单；

3、本装置的条状钨杆更容易清理，解决了网状加热器不可清洁网状钨丝的缺点。

附图说明

图1为本实用新型一种新型晶体生长炉加热器的结构示意图。

图2为本实用新型中上端面电极与电源连接部的连接示意图。

图3为本实用新型中电极与条状钨杆的连接示意图。

具体实施方式

下面通过一个最佳实施例，对本技术方案进行详细说明，但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。

如图1所示，一种新型晶体生长炉加热器，包括12个电极1和条状钨杆2，其中6个电极1围成环状形成上端面，6个电极1围成环状形成与上端面形状相同的下端面，在所述上端面与下端面之间设置条状钨杆2。

如图2所示，本实用新型使用三相电源供电，所述电极1通过电源连接部3与三相电源连接。每相邻的2个围成上端面的电极1为一组，这样就形成了三组电极。

如图3所示，所述条状钨杆2与上、下端面的电极1之间使用紧固螺栓4连接，任一条状钨杆2都单独固定，所有的条状钨杆2呈均匀分布，并且任一条状钨杆2发生变形时，都可以单独更换。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。