[实用新型]多片基板输送装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板输送装置，尤其涉及一种用于传输多片基板的多片基板输送装置。 

背景技术

在面板、电路板、玻璃基板等制造的过程中，基板需要经过多道加工程序，例如清洗、蚀刻、表面加工等，因此会采用基板输送装置以将基板输送至不同加工处进行加工。 

现有的基板输送装置包含多个传输单元，各该传输单元包含一转动轴与多个辅助轮，这些转动轴彼此平行并间隔排列，这些辅助轮间隔排列于该转动轴上，使用时将这些基板放置于这些传输单元上，通过一外部动力驱动这些转动轴转动，以带动这些基板朝预定的传送方向移动。 

然而，基于制程需求或为加速制造，会将多块基板平行并排于这些传输单元上，以同时进行传送，但由于这些基板间并未有阻隔，且各次制程中使用的基板不一定相同，导致在传送过程中，各该基板可能会发生传送方向偏移的情形，而导致这些基板彼此碰撞而受损或导致后续加工过程产生瑕疵，进而影响成品质量。 

因此，如何创作出一种多片基板输送装置，改善现有基板传送方向偏移的问题，将是本实用新型所欲积极公开之处。 

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种多片基板输送装置，以期达到稳定传送多基板且使基板朝预定的传输方向前进的功效。 

为达上述目的，本实用新型提供一种多片基板输送装置，其包括一支撑组件、多个传送单元、多个导引杆、二个第一调整单元、二个第二调整单元 与一驱动杆。其中，这些传送单元间隔设置于该支撑组件；这些导引杆活动设置于该支撑组件，且各该导引杆包含二个第一螺纹部、二个第二螺纹部与一第一齿部，这些第二螺纹部位在这些第一螺纹部之间，各该第一齿部位于各该导引杆的一端；各该第一调整单元包含一第一基座与多个第一凸杆，各该第一基座活动设置于各该第一螺纹部，且各该第一基座上延伸有间隔设置的第一凸杆，各该第一凸杆凸出于相邻的二个传送单元之间；各该第二调整单元包含一第二基座与多个第二凸杆，各该第二基座活动设置于各该第二螺纹部，且各该第二基座上延伸有间隔设置的第二凸杆，各该第二凸杆凸出于相邻的二个传送单元之间；以及该驱动杆活动设置于这些导引杆，该驱动杆包含多个第二齿部，这些第二齿部分别对应这些第一齿部。 

在一实施例中，这些第二螺纹部的螺距小于这些第一螺纹部的螺距。 

在一实施例中，该支撑组件包含一第一支撑架与一第二支撑架，该第一支撑架包含多个第一贯孔，并这些传送单元分别穿过该第一支撑架的第一贯孔并凸出于这些第一贯孔。 

在一实施例中，该第二支撑架包含多个第二贯孔，这些导引杆分别穿过该第二支撑架的第二贯孔并凸出于这些第二贯孔，而各该第一齿部位于各该导引杆的凸出于各该第二贯孔的一端。 

在一实施例中，该多片基板输送装置还包含多个清洁单元，其活动设置于该支撑组件，各该清洁单元位于相邻的二个传送单元之间，各该清洁单元包含二个滚筒。 

在一实施例中，各该第一凸杆的顶端设置有一辅助轮，且各该第二凸杆的顶端设置有一辅助轮。 

在一实施例中，该多片基板输送装置还包含一固定单元，其包含一第三基座与多个第三凸杆，该第三基座设置于这些导引杆上，且该第三基座上延伸有间隔设置的第三凸杆，各该第三凸杆凸出于相邻的二个传送单元之间。 

在一实施例中，该固定单元位于这些第二调整单元之间的中央。 

借此，本实用新型的多片基板输送装置，通过导引杆、第一调整单元、第二调整单元的配合，当以一外部动力驱动该驱动杆时，这些第一调整单元 与这些第二调整单元可根据基板宽度及数量移动到所需位置，以固定各该基板前进的方向，达到稳定传送多基板且使基板朝预定的传输方向前进的功效。 

附图说明

图1为本实用新型一具体实施例的多片基板输送装置的立体示意图。 

图2为本实用新型一具体实施例的多片基板输送装置的俯视示意图。 

图3为本实用新型一具体实施例的多片基板输送装置的沿图2A-A’线段的剖面示意图。 

图4为本实用新型一具体实施例的多片基板输送装置的使用状态示意图一。 

图5为本实用新型一具体实施例的多片基板输送装置的使用状态示意图二。 

图6为本实用新型一具体实施例的多片基板输送装置的使用状态示意图三。 

图7为本实用新型另一具体实施例的多片基板输送装置的俯视示意图。 

图8为本实用新型另一具体实施例的多片基板输送装置的使用状态示意图。 

【主要组件符号说明】 

100,100′多片基板输送装置 

110支撑组件 

111第一支撑架