[实用新型]多片基板输送装置

权利要求书

1.一种多片基板输送装置，其特征在于，包括： 

一支撑组件； 

多个传送单元，间隔设置于该支撑组件； 

多个导引杆，活动设置于该支撑组件，且各该导引杆包含二个第一螺纹部、二个第二螺纹部与一第一齿部，这些第二螺纹部位于这些第一螺纹部之间，各该第一齿部位于各该导引杆的一端； 

二个第一调整单元，各该第一调整单元包含一第一基座与多个第一凸杆，各该第一基座活动设置于各该第一螺纹部，且各该第一基座上延伸有间隔设置的第一凸杆，各该第一凸杆凸出于相邻的二个传送单元之间； 

二个第二调整单元，各该第二调整单元包含一第二基座与多个第二凸杆，各该第二基座活动设置于各该第二螺纹部，且各该第二基座上延伸有间隔设置的第二凸杆，各该第二凸杆凸出于相邻的二个传送单元之间；以及 

一驱动杆，活动设置于这些导引杆，该驱动杆包含多个第二齿部，这些第二齿部分别对应这些第一齿部。 

2.如权利要求1所述的多片基板输送装置，其特征在于，这些第二螺纹部的螺距小于这些第一螺纹部的螺距。 

3.如权利要求2所述的多片基板输送装置，其特征在于，该支撑组件包含一第一支撑架与一第二支撑架，该第一支撑架包含多个第一贯孔，并这些传送单元分别穿过该第一支撑架的第一贯孔并凸出于这些第一贯孔。 

4.如权利要求3所述的多片基板输送装置，其特征在于，该第二支撑架包含多个第二贯孔，这些导引杆分别穿过该第二支撑架的第二贯孔并凸出于这些第二贯孔，而各该第一齿部是位于各该导引杆的凸出于各该第二贯孔的一端。 

5.如权利要求1至4中任一项所述的多片基板输送装置，其特征在于，还包含多个清洁单元，其活动设置于该支撑组件，各该清洁单元位于相邻的二个传送单元之间，各该清洁单元包含二个滚筒。 

6.如权利要求1至4中任一项所述的多片基板输送装置，其特征在于，各该第一凸杆的顶端设置有一辅助轮，且各该第二凸杆的顶端设置有一辅助轮。 

7.如权利要求1至4中任一项所述的多片基板输送装置，其特征在于，还包含一固定单元，其包含一第三基座与多个第三凸杆，该第三基座设置于这些导引杆上，且该第三基座上延伸有间隔设置的第三凸杆，各该第三凸杆凸出于相邻的二个传送单元之间。 

8.如权利要求5所述的多片基板输送装置，其特征在于，还包含一固定单元，其包含一第三基座与多个第三凸杆，该第三基座设置于这些导引杆上，且该第三基座上延伸有间隔设置的第三凸杆，各该第三凸杆凸出于相邻的二个传送单元之间。 

9.如权利要求7所述的多片基板输送装置，其特征在于，该固定单元是位于这些第二调整单元之间的中央。 

10.如权利要求8所述的多片基板输送装置，其特征在于，该固定单元是位于这些第二调整单元之间的中央。