[实用新型]一种激光加工装置有效
申请号: | 201320133116.3 | 申请日: | 2013-03-22 |
公开(公告)号: | CN203197467U | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 成奎栋 | 申请(专利权)人: | 伊欧激光科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/06;B23K26/42 |
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地址: | 215217 江苏省苏州市吴江经济*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 加工 装置 | ||
1.一种激光加工装置,包括激光器,移送装置,控制部以及基板,其特征在于,还包括焦点成型部,所述焦点成型部位于基板的上方,所述基板放置于所述移送装置上,所述激光器通过控制部控制发射激光束,该激光束射入焦点成型部后形成椭圆形激光束,然后该椭圆形激光束切割位于基板上的待加工件。
2.根据权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,所述焦点成型部包括第一透镜以及第二透镜,所述第一透镜与所述第二透镜异面垂直。
3.根据权利要求2所述的激光加工装置,其特征在于,所述第一透镜和第二透镜为圆筒形镜片。
4.根据权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,还包括清洗部,所述清洗部内填充有氦气或清洗液。
5.根据权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,所述椭圆形激光束的短轴长和长轴长的比率是1:4到1:12之间。
6.根据权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,所述椭圆形激光光束的长轴长为100~150μm,短轴长为5~35μm。
7.根据权利要求3所述的激光加工装置,其特征在于,所述第一透镜和第二透镜为可移动透镜,并与所述控制部连接。
8.根据权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,所述激光束的照射频率在30kHz-100kHz之间。
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