[实用新型]低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统

权利要求书

1.一种低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于所述测振系统的装置及连接关系为：光源（2）由普通驱动电源（1）驱动；沿光源（2）发射光前进方向依次放置要检测的振动台（6），微悬臂系统（7）；所述的光源（2）传出的光在第一光纤（3）中传播；压电阶段（11）中涉及需移位对准的仪器包括粘附有第一光纤（3）的待测的振动台（6）、微悬臂系统（7）以及显微镜（4），显微镜（4）设于振动台（6）和微悬臂系统（7）的上方；所述的微悬臂系统（7）包括可调的三维平台（14）和粘附在其上的末端是纳米针尖探针的第二光纤（5），第二光纤（5）的另一端与光电转换装置（8）的输入端连接；所述的光电转换装置（8）的输出端与数据采集和处理装置（9）连接；所述的数据采集和处理装置（9）与信号监视器（10）连接。

2.根据权利要求 1 所述的低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于：所述的电源（1）给光源（2）提供直流驱动电流和交流驱动电流，并且其调制信号输出端可以输出与供给电源的交流驱动电流信号同频率的交流电压信号。

3.根据权利要求 1或2 所述的低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于：所述的光源（2）为半导体激光器。

4.根据权利要求 1 所述的低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于：所述待测的振动台（6）上的第一光纤（3）与微悬臂的第二光纤（5）的纳米针尖探针为非接触式，当光通过待测振动台上的第一光纤（3）传播到末端为纳米针尖探针的第二光纤（5）中时，纳米针尖探针可以探测基本模式的模场分布。

5.根据权利要求 1 所述的低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于：所述的数据采集和处理装置（9）包括数据采集装置（12）和数据处理装置（13）。

6.根据权利要求 1 所述的低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于：所述的显微镜（4）为微米级分辨率的显微镜。

7.根据权利要求 1 所述的低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于：所述的第一光纤（3）和第二光纤（5）均为单模光纤。

8.根据权利要求 1 所述的低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于：所述的纳米针尖探针是微悬臂系统（7）的一部分，是一个高分辨率的探测器。

9.根据权利要求 1 所述的低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于：所述的光电转换装置（8）为CCD或者光功率计。

10.根据权利要求 1 所述的低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统，其特征在于：所述的信号监视器（10）为示波器或者电脑。