[实用新型]一种微型宽范围内波长可调滤波器

权利要求书

1.一种微型宽范围内波长可调滤波器，其结构包括有平行设置的第一基片和第二基片，在第一基片和第二基片之间具有谐振腔，其特征在于，在所述第一基片和第二基片之间夹设有起支撑作用的侧过渡层，该侧过渡层由一种热膨胀系数为α1的材料制成，在第一基片和第二基片之间还设有中心过渡层，该中心过渡层由一种热膨胀系数为α2的材料制成，且所述中心过渡层的厚度小于所述侧过渡层的厚度，所述中心过渡层的一个面紧贴地设置于所述第一基片的内侧面，中心过渡层上相对的另一个面与第二基片的内侧面之间存在空隙，该空隙为对光束反射或透射的所述谐振腔，该谐振腔的腔长随加于热膨胀系数为α1的材料和热膨胀系数为α2的材料的温度变化而可控变化。

2.根据权利要求1所述的一种微型宽范围内波长可调滤波器，其特征在于，所述的侧过渡层设有两片，两片侧过渡层形状相同且相互平行地架设于两个基片之间，所述的中心过渡层设置于两个侧过渡层的中间，该中心过渡层的一个面紧贴并固定于第一基片的内侧面，其相对的另一个面作为谐振腔的第一部分反射面（S1），所述第二基片的内侧面作为谐振腔的第二部分反射面（S2）。

3.根据权利要求2所述的一种微型宽范围内波长可调滤波器，其特征在于，所述侧过渡层为热膨胀系数为α1的材料，其在温度T0时长度为L1，所述中心过渡层为热膨胀系数为α2的材料，其在温度T0时长度为L2，所述第一基片和第二基片为同材质的透明材料，所述谐振腔的腔长为所述第一部分反射面（S1）和第二部分反射面（S2）之间的距离L；发射准直器发出的光束在谐振腔中第一部分反射面（S1）和第二部分反射面（S2）之间多次反射形成多光束干涉，该多光束干涉的光程差为2L*n*cos(θ), 多光束干涉的中心波长为2L*n*cos(θ)/k，其中n为空气的折射率，θ为光束在第一部分反射面（S1）和第二部分反射面（S2）的入射角，k为干涉级数；

在温度为T时，腔长L(T)=L1[1+α1(T-T0)]- L2[1+α2(T-T0)]，

中心波长为λ(T)=2{L1[1+α1(T-T0)]- L2[1+α2(T-T0)]}*n*cos(θ)/k，

中心波长的温度变化系数为(L1*α1- L2*α2)/(L1-L2)*λ0，其中λ0为 温度T0时的中心波长。

4.根据权利要求3所述的一种微型宽范围内波长可调滤波器，其特征在于，所述第一基片、第二基片、中心过渡层的通光面与所述第一部分反射面（S1）和第二部分反射面（S2）形成夹角，该夹角小于2°。

5.根据权利要求1所述的一种微型宽范围内波长可调滤波器，其特征在于，所述的侧过渡层为一个管状的环过渡层，所述的中心过渡层的厚度小于环过渡层的厚度，所述的环过渡层架设于所述第一基片和第二基片之间，所述的中心过渡层放置于环过渡层的中间位置，该中心过渡层的一个面紧贴并固定于第一基片的内侧面，其相对的另一个面作为谐振腔的第三部分反射面（S3），所述第二基片的内侧面作为谐振腔的第四部分反射面（S4）。

6.根据权利要求5所述的一种微型宽范围内波长可调滤波器，其特征在于，所述环过渡层为热膨胀系数为α1的材料，其在温度T0时长度为L1，所述中心过渡层为热膨胀系数为α2的材料，其在温度T0时长度为L2，所述第一基片和第二基片为同材质的透明材料，谐振腔的腔长为所述第三部分反射面（S3）和第四部分反射面（S4）之间的距离L；发射准直器发出的光束在谐振腔中第三部分反射面（S3）和第四部分反射面（S4）之间多次反射形成多光束干涉，该多光束干涉的光程差为2L*n*cos(θ), 多光束干涉的中心波长为2L*n*cos(θ)/k，其中n为空气的折射率，θ为光束在第三部分反射面（S3）和第四部分反射面（S4）的入射角，k为干涉级数；

在温度为T时，腔长L(T)=L1[1+α1(T-T0)]- L2[1+α2(T-T0)]，

中心波长为λ(T)=2{L1[1+α1(T-T0)]- L2[1+α2(T-T0)]}*n*cos(θ)/k，

中心波长的温度变化系数为(L1*α1- L2*α2)/(L1-L2)*λ0，其中λ0为 温度T0时的中心波长。